北京晶亦精微科技股份有限公司刘欢获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利超临界清洗干燥系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513914U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422767096.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型超临界清洗干燥系统是由刘欢;张康;史霄;王渤设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本超临界清洗干燥系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种超临界清洗干燥系统，包括工作台、传送组件、清洗机、超临界流体制备机及干燥机，传送组件设置于工作台上，清洗机和干燥机位于传送组件的同侧，清洗机连接有若干个进液管，干燥机具有用于干燥晶圆的干燥腔，超临界流体制备机与干燥腔连通、用于向干燥腔内供送超临界气体，干燥机上转动连接有能够水平摆动以带动晶圆进入干燥腔的摆动座，摆动座上设有容置腔，摆动座与干燥机之间还设有锁定组件。本实用新型提供的超临界清洗干燥系统，能够最大程度地减少了从清洗工艺到干燥工艺传送过程中的抖动以及高度升降对晶圆表面液膜均匀度产生的影响，能够有效控制晶圆良率，提高生产效率，同时便于降低加工成本。
本实用新型超临界清洗干燥系统在权利要求书中公布了：1.超临界清洗干燥系统，其特征在于，包括工作台1、传送组件2、清洗机3、超临界流体制备机4以及干燥机5，所述传送组件2设置于所述工作台1上，所述清洗机3和所述干燥机5位于所述传送组件2的同侧，所述清洗机3远离所述传送组件2的一侧连接有若干个进液管38，所述干燥机5具有用于干燥晶圆8的干燥腔51，所述超临界流体制备机4与所述干燥腔51连通、用于向所述干燥腔51内供送超临界气体，所述干燥机5上转动连接有能够水平摆动以带动晶圆8进入所述干燥腔51的摆动座6，所述摆动座6上设有开口向上、且用于放置晶圆8的容置腔，所述摆动座6与所述干燥机5之间还设有锁定组件7。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励