天津中科晶禾电子科技有限责任公司鞠家旺获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利一种多功能真空腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513920U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422981556.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种多功能真空腔室是由鞠家旺;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多功能真空腔室在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种多功能真空腔室。该多功能真空腔室包括第一开口、盖板、承载组件和升降组件，第一开口设于真空腔室顶部；盖板一端转动设置于第一开口，另一端设置有固定组件，固定组件用于将盖板与真空腔室锁紧；承载组件贯穿真空腔室的底部，承载组件能沿竖直方向移动，以承载并带动工件移动至真空腔室内；升降组件设于真空腔室下方并与承载组件连接，以驱动承载组件沿竖直方向移动。通过使用升降组件带动承载组件移动，将工件快速移动至真空腔室，提高工件置入真空腔室的效率；使用固定组件锁紧盖板，提高真空腔室的密封性。
本实用新型一种多功能真空腔室在权利要求书中公布了：1.一种多功能真空腔室，其特征在于，包括： 第一开口，所述第一开口设于真空腔室10顶部； 盖板20，所述盖板20一端转动设置于所述第一开口，另一端设置有固定组件21，所述固定组件21用于将所述盖板20与所述真空腔室10锁紧； 承载组件40，所述承载组件40贯穿所述真空腔室10的底部，所述承载组件40能沿竖直方向移动，以承载并带动工件从所述第一开口移动至所述真空腔室10内； 升降组件50，所述升降组件50设于所述真空腔室10下方并与所述承载组件40连接，以驱动所述承载组件40沿所述竖直方向移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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