天虹科技股份有限公司王俊富获国家专利权
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龙图腾网获悉天虹科技股份有限公司申请的专利用以降低遮板温度的沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513921U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423006525.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型用以降低遮板温度的沉积设备是由王俊富;郑耀璿;郑启鸿;刘启翔;刘国儒;易锦良设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本用以降低遮板温度的沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型为一种用以降低遮板温度的沉积设备，包括一腔体、一遮板、一固定环、一承载盘及一冷却装置。遮板的一端连接腔体，另一端则用以承载固定环。承载盘用以承载一晶圆，其中承载盘位于固定环的下方，并可带动承载的晶圆相对于固定环及遮板位移，使得固定环接触晶圆的边缘，并将晶圆固定在承载盘上。冷却装置连接固定环，其中冷却装置内具有一冷却流体，并通过热传导的方式由固定环接收热量，以降低固定环的温度。通过固定环温度的降低，可避免在固定环与晶圆的交界处形成薄膜，并可有效防止固定环与晶圆之间发生沾黏。
本实用新型用以降低遮板温度的沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种用以降低遮板温度的沉积设备，其特征在于，包括： 一腔体，具有一容置空间及一抽气口，该抽气口连接该容置空间，其中该抽气口连接一真空泵，该真空泵通过该抽气口抽出该腔体的该容置空间内的气体； 一遮板，连接该腔体，并位于该腔体的该容置空间内，其中该遮板包括一环形凸部； 一固定环，位于该腔体的该容置空间内，并设置在该遮板的该环形凸部上； 一冷却装置，接触该固定环，并通过该冷却装置内的一冷却流体降低该固定环的温度；及 一承载盘，设置在该腔体的该容置空间内，并位于该固定环的下方，其中该承载盘用以承载一晶圆。
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