上海道之科技有限公司周福获国家专利权
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龙图腾网获悉上海道之科技有限公司申请的专利一种多尺寸晶圆贴膜台盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422848459.9，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种多尺寸晶圆贴膜台盘是由周福;张林设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多尺寸晶圆贴膜台盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多尺寸晶圆贴膜台盘，包括：台盘本体；第一放置处，第一放置处设置于台盘本体的中心处；第二放置处，第二放置处设置于台盘本体上，第二放置处设置于第一放置处的外侧；第三放置处，第三放置处设置于台盘本体上，第三放置处设置于第二放置处的外侧。通过对本实用新型的应用，提出了一种多尺寸晶圆贴膜台盘，能够与多种尺寸的晶圆进行适配，以实现在同一台盘上处理多尺寸晶圆的贴膜工艺，提高了设备的兼容性，能够灵活应对不同尺寸的晶圆的需求，使得在一定尺寸范围内的不同晶圆皆可高效贴膜，减少了对多个专用设备的需求，简化了生产流程和操作步骤，提高了生产效率以及设备的利用率，有效降低了企业的生产成本。
本实用新型一种多尺寸晶圆贴膜台盘在权利要求书中公布了：1.一种多尺寸晶圆贴膜台盘，其特征在于，包括： 台盘本体； 第一放置处，所述第一放置处设置于所述台盘本体的中心处； 第二放置处，所述第二放置处设置于所述台盘本体上，所述第二放置处设置于所述第一放置处的外侧； 第三放置处，所述第三放置处设置于所述台盘本体上，所述第三放置处设置于所述第二放置处的外侧； 所述第一放置处、所述第二放置处和所述第三放置处均具有吸附部； 所述第一放置处上设置有第一标志线，所述第一标志线设置于所述第一放置处的外沿； 所述第二放置处上设置有第二标志线，所述第二标志线设置于所述第二放置处的外沿。
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