长川科技(苏州)有限公司徐焕获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利吸附机构及晶圆寻边装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513939U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422850212.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型吸附机构及晶圆寻边装置是由徐焕;杜振东;王坤;马永飞;雷传设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸附机构及晶圆寻边装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种吸附机构及晶圆寻边装置，吸附机构能够配合晶圆寻边装置的固定吸盘对晶圆进行吸附。其中，吸附机构包括支撑件及多个伯努利吸盘，支撑件围设成能够对固定吸盘形成避位的避空部，多个伯努利吸盘安装于支撑件并沿避空部的周向间隔分布。当晶圆的翘曲程度过大，并导致固定吸盘无法顺利对其吸附固定时，便可启动伯努利吸盘以对晶圆产生向下的吸力，从而沿固定吸盘的周向拉平晶圆。晶圆被伯努利吸盘拉平后与固定吸盘之间的间隙将显著减小，故不易产生真空泄漏，再开启固定吸盘便可顺利吸附固定晶圆。可见，上述吸附机构能够确保晶圆寻边装置的固定吸盘顺利吸附翘曲的晶圆。
本实用新型吸附机构及晶圆寻边装置在权利要求书中公布了：1.一种吸附机构，能够配合固定吸盘对晶圆进行吸附，其特征在于，所述吸附机构包括支撑件及多个伯努利吸盘，所述支撑件围设成能够对所述固定吸盘形成避位的避空部，多个所述伯努利吸盘安装于所述支撑件并沿所述避空部的周向间隔分布。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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