上海鸿辉光通科技股份有限公司杨洋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海鸿辉光通科技股份有限公司申请的专利一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513942U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422385852.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置是由杨洋设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置，包括夹柄，所述夹柄的开口端两端均连接有两个对称分布的夹片，所述夹柄和夹片均采用不锈钢钢片所制，所述夹柄的外侧套设有限位机构，所述限位机构上安装有支撑机构，所述支撑机构上安装有调节机构，所述夹片上安装有防护机构；在将连杆固定在支撑机构上后，向内按压夹柄的侧壁，夹柄的两侧侧壁与阻力杆相碰，阻力杆按压阻力弹簧，利用阻力弹簧的弹力，来增大夹柄向内按压的阻力，从而实现调节夹柄的按压阻力的效果，可以根据自身握力，来推动横板，来调节调节机构与夹柄两侧侧壁的间距，也就是调节夹柄的侧壁与阻力杆的间距，来调节阻力杆对于夹柄的两侧侧壁阻碍难度。
本实用新型一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置，包括夹柄1，所述夹柄1的开口端两端均连接有两个对称分布的夹片2，所述夹柄1和夹片2均采用不锈钢钢片所制，其特征在于，所述夹柄1的外侧套设有限位机构3，所述限位机构3上安装有支撑机构4，所述支撑机构4上安装有调节机构5，所述夹片2上安装有防护机构6； 所述调节机构5包括连杆501、十字槽502、阻力杆503、阻力弹簧504和螺丝505，所述连杆501的两端均开设有十字槽502，所述十字槽502内滑动连接有阻力杆503，所述阻力杆503的侧壁连接有阻力弹簧504，所述阻力弹簧504的一端与十字槽502的一侧侧壁连接，所述连杆501的侧壁活动贯穿连接有螺丝505，所述阻力杆503远离连杆501的一端连接有橡胶垫。
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