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龙图腾网获悉河南省日立信股份有限公司;河南省智仪系统工程有限公司申请的专利一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112649478B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011550706.7，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法是由汪献忠;李建国;张志辉;赫树开设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法在说明书摘要公布了：一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法，包括基底，基底模面上设有对氢气敏感的测氢薄膜电阻、对温度敏感的测温薄膜电阻以及加热薄膜电阻；测温薄膜电阻和加热薄膜电阻为具有同一圆心的圆环形结构，测温薄膜电阻上设有一个断开的第一缺口形成第一测温终端和第二测温终端，加热薄膜电阻上设有一个断开的第二缺口形成第一加热终端和第二加热终端，测氢薄膜电阻设置测温薄膜电阻和加热薄膜电阻当中测氢薄膜电阻为并线双螺旋结构。本发明的薄膜氢气传感器相对结构简单，且制作工艺简单，周期短，成本可控，稳定可靠性强，可满足在氢燃料电池汽车应用中的成本要求。

本发明授权一种薄膜氢气传感器、制作方法及工作方法在权利要求书中公布了：1.一种薄膜氢气传感器的制作方法，其特征在于：所述的薄膜氢气传感器包括基底，基底模面上设有对氢气敏感的测氢薄膜电阻、对温度敏感的测温薄膜电阻以及加热薄膜电阻；测温薄膜电阻和加热薄膜电阻为具有同一圆心的圆环形结构，测温薄膜电阻上设有一个断开的第一缺口形成第一测温终端和第二测温终端，加热薄膜电阻上设有一个断开的第二缺口形成第一加热终端和第二加热终端，测氢薄膜电阻设置测温薄膜电阻和加热薄膜电阻当中测氢薄膜电阻为并线双螺旋结构； 加热薄膜电阻的直径小于测温薄膜电阻的直径，第二缺口和第一缺口邻近并内外对应布置； 并线双螺旋结构的圆心和圆环形结构的圆心重合，并线双螺旋结构由两组等半径差且围绕圆心半径渐变的曲线环绕多圈形成，并线双螺旋结构在邻近底模模面近圆心的端点处进行短接，并线双螺旋结构远离圆心的第一测氢终端和第二测氢终端均邻近第二缺口； 基底材质为硅，测氢薄膜电阻材质为钯-镍合金，测温薄膜电阻材质为铂，加热薄膜电阻采用物理化学性质稳定的镍或铬； 所述的薄膜氢气传感器的制作方法包括以下步骤: 1确定基底模面的中心，即测氢薄膜电阻、测温薄膜电阻和加热薄膜电阻的圆心； 2将并线双螺旋结构的测氢薄膜电阻安装在基底上，测氢薄膜电阻在靠近模面中心点侧短接； 3将加热薄膜电阻安装硅材料基底上，使加热薄膜电阻环绕在测氢薄膜电阻外部； 4将测温薄膜电阻安装在硅材料基底上，使测温薄膜电阻环绕加热薄膜电阻外部； 5在硅材料基底上制作金属连线和键合焊盘制成薄膜氢气传感器。

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