东京应化工业株式会社平山文武获国家专利权
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龙图腾网获悉东京应化工业株式会社申请的专利抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112882341B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011348383.3，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法是由平山文武;平野智之;吉田裕三;河野绅一;中川裕介设计研发完成，并于2020-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在说明书摘要公布了：一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分A；与离子液体Z，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。
本发明授权抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种抗蚀剂组合物，是通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化的抗蚀剂组合物，其特征在于，含有： 对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分A； 产酸剂成分B； 熔点为100℃以下的离子液体Z， 所述离子液体Z的阴离子部为以下述通式z-an-1～z-an-5的任一个表示的阴离子， 所述离子液体Z的阳离子部为以下述通式z-ca-1、z-ca-2以及z-ca-4的任一个表示的阳离子， 所述离子液体Z的含量相对于所述基材成分A100质量份为3质量份以上且小于25质量份， 所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上， 式z-an-1中，Rza1表示可具有取代基的链状的烃基，式z-an-2中，Rza2表示可被氟原子取代的碳数为1～5的烷基，k为1～4的整数，l为0～3的整数，并且k+l＝4，式z-an-3中，Rza3表示可被氟原子取代的碳数为1～5的烷基，m为1～6的整数，n为0～5的整数，并且m+n＝6，式z-an-4中，X”表示至少1个氢原子被氟原子取代而得的碳数为2～6的亚烷基，式z-an-5中，Y”及Z”分别独立地表示至少1个氢原子被氟原子取代而得的碳数为1～10的烷基， 式中，Rzc1～Rzc4分别独立地为碳数为1～12的烷基，Rzc7～Rzc9分别独立地为可具有取代基的芳基。
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