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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种微动台及运动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113421847B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110830550.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种微动台及运动装置是由袁嘉欣;江旭初;吴火亮;彭仁强设计研发完成，并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微动台及运动装置在说明书摘要公布了：本发明属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种微动台及运动装置。微动台包括：安装基座；垂向驱动装置，安装于安装基座上；垂向底座，套设在垂向驱动装置的外侧，垂向驱动装置的驱动端驱动垂向底座相对安装基座沿Z方向运动；旋转座，可绕Z方向旋转地套设在垂向底座上，且在Z方向上的位置相对垂向底座不变；旋转驱动电机，套设在旋转座的侧面，用于驱动旋转座绕Z方向转动，旋转驱动电机包括同轴间隔套设的旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机动子相对旋转座固定，旋转电机定子相对安装基座固定。运动装置包括上述的微动台。本发明公开的微动台和运动装置，有利于实现微动台及运动装置的轻量化和扁平化设计。

本发明授权一种微动台及运动装置在权利要求书中公布了：1.一种微动台，其特征在于，包括： 安装基座5； 垂向驱动装置4，安装于所述安装基座5上； 垂向底座3，套设在所述垂向驱动装置4的外侧，所述垂向驱动装置4的驱动端驱动所述垂向底座3相对所述安装基座5沿Z方向运动； 所述垂向驱动装置4包括音圈电机组件41和重力补偿组件42，所述音圈电机组件41和所述重力补偿组件42集成设置； 所述音圈电机组件41包括音圈电机定子412和音圈电机动子411，所述音圈电机定子412相对所述安装基座5固定，所述音圈电机动子411相对所述垂向底座3固定； 旋转座2，可绕所述Z方向旋转地套设在所述垂向底座3上，且在所述Z方向上的位置相对所述垂向底座3不变； 旋转驱动电机1，套设在所述旋转座2的侧面，用于驱动所述旋转座2绕所述Z方向转动，所述旋转驱动电机1包括同轴间隔套设的旋转电机动子11和旋转电机定子12，所述旋转电机动子11相对所述旋转座2固定，所述旋转电机定子12相对所述安装基座5固定。

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