朗姆研究公司大卫·穆伊获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利衬底表面的蒸气清洁获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114026674B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080046734.7，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权衬底表面的蒸气清洁是由大卫·穆伊;杰罗姆·米歇尔·多米尼克·美莱特;南森·马塞尔怀特;迈克尔·拉夫金;马克·卡瓦古奇;伊利亚·卡利诺夫斯基设计研发完成，并于2020-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底表面的蒸气清洁在说明书摘要公布了：一种清洁衬底的方法包含：将所述衬底布置在处理室中；将所述处理室的压强控制在预定压强范围内；将所述处理室的温度控制在预定温度范围内；在第一期间中持续供应包含金属螫合物蒸气的蒸气混合物，以从所述衬底的表面去除金属污染物。
本发明授权衬底表面的蒸气清洁在权利要求书中公布了：1.一种清洁衬底的方法，其包含： 将所述衬底布置在处理室中； 将所述处理室的压强控制在预定压强范围内； 将所述处理室的温度控制在预定温度范围内； 在第一期间中持续供应包含金属螯合蒸气的蒸气混合物，以从所述衬底的表面去除金属污染物； 在所述第一期间之后，从所述处理室去除反应物； 在第二期间中向所述处理室供应氧化气体混合物；以及 在所述第二期间之后，从所述处理室去除反应物， 其中，通过供应所述蒸气混合物和所述氧化气体混合物来清洁所述衬底可防止所述衬底上高深宽比结构的崩塌。
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