芝浦机械电子装置株式会社古矢正明获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利基板搬送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114267620B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110979256.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板搬送装置是由古矢正明设计研发完成，并于2021-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板搬送装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种可减少灰尘对基板的附着的基板搬送装置。实施方式的基板搬送装置1包括：基板搬送用的搬送臂2；支柱32，角度不动地立设于基体31；上链节33，一端支撑搬送臂2，以能够转动的方式连结于支柱32，并且随着转动使搬送臂2升降；下链节34，以能够以与上链节33的转动的轴平行的轴为中心转动的方式连结于支柱32中的较与上链节33的连结部分靠下方的位置；连接链节35，以使上链节33随着下链节34的转动而转动的方式，能够转动地连结于上链节33及下链节34；及驱动部4，使下链节34转动。
本发明授权基板搬送装置在权利要求书中公布了：1.一种基板搬送装置，其特征在于，包括： 基板搬送用的搬送臂； 支柱，角度不动地立设于基体； 上链节，一端支撑所述搬送臂，以能够转动的方式连结于所述支柱，并且随着转动使所述搬送臂升降； 下链节，以能够以与所述上链节的转动的轴平行的轴为中心转动的方式连结于所述支柱中较与所述上链节的连结部分靠下方的位置； 连接链节，具有：与所述上链节连结的第一转动轴、和与所述下链节连结的第二转动轴，所述第一转动轴和所述第二转动轴随着所述下链节的转动而转动和升降，从而使所述上链节转动；及 驱动部，使所述下链节转动， 所述上链节与所述支柱以第三转动轴为中心进行转动， 所述上链节与所述搬送臂以第四转动轴为中心进行转动， 所述第三转动轴位于所述第四转动轴与所述第一转动轴之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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