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福建省晋华集成电路有限公司詹益旺获国家专利权

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龙图腾网获悉福建省晋华集成电路有限公司申请的专利存储器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114267678B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111574820.8,技术领域涉及:H10B12/00;该发明授权存储器是由詹益旺;童宇诚设计研发完成,并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

存储器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种存储器。通过在位元线的至少部分侧壁上形成侧壁氮化层,从而可以在侧壁氮化物层隔离保护下,避免位元线被氧化的问题。尤其是,针对位元线中包括金属材料层时,则可在金属材料层的侧壁上形成侧壁金属氮化物层,不仅可以防止金属材料层被氧化的问题,并且有利于进一步提高所述位元线的电性传导性能保障位元线的电性传导性能。

本发明授权存储器在权利要求书中公布了:1.一种存储器,其特征在于,包括: 衬底,所述衬底中定义有多个有源区; 多个位线接触部,位于所述衬底中并和所述多个有源区连接; 多条位元线,所述位元线覆盖所述位线接触部,所述位元线包括依次堆叠设置的底层多晶硅层、金属材料层和介质材料遮蔽层,其中所述金属材料层的侧壁具有侧壁金属氮化物层,所述底层多晶硅层的侧壁具有侧壁氮化硅层,所述侧壁氮化硅层与所述金属材料层彼此隔离; 绝缘遮盖层,所述绝缘遮盖层直接接触所述介质材料遮蔽层、所述金属材料层侧壁上的侧壁金属氮化物层和所述底层多晶硅层的侧壁上的所述侧壁氮化硅层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人福建省晋华集成电路有限公司,其通讯地址为:362200 福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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