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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695176B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111103630.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及方法是由金俙焕;申哲榕;金载烈;崔文植设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及方法在说明书摘要公布了：公开了节约药液的基板处理装置及方法。该装置包括：安置基板并且能够旋转的支承模块、围绕支承模块并且包括第一碗状件和布置在第一碗状件内侧的第二碗状件的壳体、向基板喷出第一药液的第一药液供应模块、以及向基板喷出与第一药液不同的第二药液的第二药液供应模块，其中，第一碗状件对应基板，并且支承模块以第一速度旋转的同时，第一药液供应模块供应第一药液，第二碗状件对应基板，并且支承模块以小于等于第一速度的第二速度旋转的同时，第二药液供应模块以第一流量供应第二药液，且第二碗状件对应基板，并且支承模块以小于第二速度的第三速度旋转的同时，第二药液供应模块不供应第二药液，或者以小于第一流量的第二流量供应第二药液。

本发明授权基板处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 支承模块，用于安置基板，并且能够旋转； 壳体，能够相对于所述支承模块改变高度，围绕所述支承模块的周围，并且包括第一碗状件和布置在所述第一碗状件的内侧的第二碗状件； 第一药液供应模块，向所述基板喷出第一药液；以及 第二药液供应模块，向所述基板喷出与所述第一药液不同的第二药液， 其中，所述第一碗状件定位成对应于所述基板，即，使得延长所述基板的主表面的虚拟平面到达所述第一碗状件的流入口，并且所述支承模块以第一速度旋转的同时，所述第一药液供应模块供应所述第一药液， 所述第二碗状件定位成对应于所述基板，即，使得延长所述基板的所述主表面的所述虚拟平面到达所述第二碗状件的流入口，并且所述支承模块以等于或小于所述第一速度的第二速度旋转的同时，所述第二药液供应模块以第一流量供应所述第二药液，以及 所述第二碗状件定位成对应于所述基板，并且所述支承模块以小于所述第二速度的第三速度旋转的同时，所述第二药液供应模块不供应所述第二药液，或者以小于所述第一流量的第二流量供应所述第二药液， 在所述第二药液供应模块不供应所述第二药液或者以所述第二流量供应所述第二药液之后，所述支承模块以大于所述第二速度的第四速度旋转的同时，所述第二药液供应模块以第三流量供应所述第二药液。

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