江苏长进微电子材料有限公司王凯获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏长进微电子材料有限公司申请的专利耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114879449B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210447258.0，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用是由王凯;严翔;薛钰铸设计研发完成，并于2022-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用，聚酰亚胺光刻胶按质量百分数计，包括以下原料组分：光引发剂0～5％，带有光敏基团的聚酰胺酸30％～60％，流平剂0～1％，交联剂5～10％，增粘剂0～1％，溶剂50％～90％，其中，所述带有光敏基团的聚酰胺酸中的光敏基团为光二聚型感光基团、重氮或叠氮感光基团、丙烯酸酯基团中至少一种。本发明的耐高温聚酰亚胺光刻胶不需要借助其他光刻胶就能实现图形的形成，不仅节约了材料成本，而且显著缩短了工艺流程，提高了成品率，可以同时实现较高分辨率图形的制作以及对衬底材料的保护。
本发明授权耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用在权利要求书中公布了：1.一种耐高温聚酰亚胺光刻胶，其特征在于：按质量百分数计，包括以下原料组分： 光引发剂0～5％ 带有光敏基团的聚酰胺酸30％～60％ 流平剂0～1％ 交联剂5～10％ 增粘剂0～1％ 溶剂50％～90％ 其中，带有光敏基团的聚酰胺酸的制备方法具体如下： 1将45g4,4'-二氨基二苯醚ODA加入到盛有300gN-甲基吡硌烷酮的四口烧瓶中，完全溶解后得到ODA溶液；在30℃温度下，向ODA溶液中缓慢加入65.5g均苯四甲酸二酐PMDA粉末，完全溶解后，再加入200gN-甲基吡硌烷酮，并维持反应温度30℃反应2h得到聚酰胺酸溶液； 2向聚酰胺酸溶液加入150g甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯CAS:2867-47-2和0.1g阻聚剂对苯二酚，加热至60℃，搅拌反应18小时得到光敏型聚酰胺酸； 3将得到的光敏型聚酰胺酸溶液滴加到4000g乙醇中，同时剧烈搅拌，抽滤收集沉淀物，在室温下真空干燥，得到粉末状的带有光敏基团的聚酰胺酸。
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