川崎重工业株式会社山田怜获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社申请的专利基板保持手及基板移送机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115039215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180012169.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板保持手及基板移送机器人是由山田怜;高氏龙之介;清水一平设计研发完成，并于2021-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持手及基板移送机器人在说明书摘要公布了：本发明的基板保持手具备：支承板，规定有圆形的基准捕获范围；多个垫，配置在基准捕获范围内；至少1个固定限位器，沿着基准捕获范围的外周圆配置；至少1个可动限位器，具有与固定限位器相比距支承板的高度一致的部分；以及限位器致动器，构成为使可动限位器从基准捕获范围的外侧的退避位置移动到比该退避位置更靠近固定限位器的进入位置。通过处于进入位置的可动限位器和前限位器来规定圆形的缩小捕获范围，缩小捕获范围的直径大于基板的直径且小于捕获范围的直径。
本发明授权基板保持手及基板移送机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板保持手，其特征在于，具备： 支承板，规定有圆形的基准捕获范围； 多个垫，在所述基准捕获范围内配置在所述支承板上； 至少1个固定限位器，沿着所述基准捕获范围的外周圆配置，限制支承于所述多个垫的基板向所述基准捕获范围的外周侧移动； 至少1个可动限位器，具有与所述固定限位器相比距所述支承板的高度一致的部分；以及 限位器致动器，构成为使所述可动限位器从所述基准捕获范围的外周圆上或者外侧的退避位置移动到比所述退避位置更靠近所述固定限位器的进入位置， 通过处于所述进入位置的所述可动限位器和所述固定限位器来规定圆形的缩小捕获范围，所述缩小捕获范围的直径大于所述基板的直径且小于所述基准捕获范围的直径， 未由所述可动限位器和所述固定限位器把持所述基板的侧面地，将收纳在所述缩小捕获范围的所述基板以载置于所述多个垫的状态保持于所述支承板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人川崎重工业株式会社，其通讯地址为：日本兵库县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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