深圳市容大感光科技股份有限公司;惠州市容大感光科技有限公司马文杰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市容大感光科技股份有限公司;惠州市容大感光科技有限公司申请的专利一种树脂组合物以及使用其的光刻胶图形化的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115097694B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210747776.4,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种树脂组合物以及使用其的光刻胶图形化的方法是由马文杰;晏凯;刘力铭;杨遇春;夏巍;郑柳瑜设计研发完成,并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种树脂组合物以及使用其的光刻胶图形化的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种树脂组合物,其包含以下组分:A碱可溶树脂,10至30重量%;B溶剂,70至90重量%,优选75至85重量%;C表面活性剂,0.005至0.5重量%,优选为0.01至0.4重量%;D粘接助剂,0.01至20重量%,优选为0.1至15重量%,更优选为0.1至10重量%,各组分之和为100重量%。还涉及使用该树脂组合物进行光刻胶图形化的方法。该树脂组合物作为底层牺牲层光刻胶,能够通过控制其在显影后的碱溶速率从而通过设定显影时间,进而精确控制底切宽度。
本发明授权一种树脂组合物以及使用其的光刻胶图形化的方法在权利要求书中公布了:1.一种树脂组合物,其包含以下组分: A碱可溶树脂,10至30重量%; B溶剂,70至90重量%; C表面活性剂,0.005至0.5重量%; D粘接助剂,0.01至20重量%, 基于树脂组合物的总重量计,且各组分之和为100重量%, 其中所述树脂组合物中不含有感光组分, 其中所述碱可溶树脂A的重均分子量为1,000至100,000,且分子量的分布宽度为1至5, 其中所述碱可溶树脂的酸值为10至300mgKOHg, 其中重均分子量根据GBT21863-2008测定, 其中酸值根据GBT2895-2008测定。
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