漳州市合琦靶材科技有限公司吴丽君获国家专利权
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龙图腾网获悉漳州市合琦靶材科技有限公司申请的专利一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116207137B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211484099.8，技术领域涉及：H10D62/80；该发明授权一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法是由吴丽君;覃雪峰;陈淑娇;廖蕾;刘兴强;邹旭明;何鹏辉设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法，所述复合薄膜晶体管在制备过程使用铟盐、镓盐、锌盐和铽盐制作混合溶液，将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，将所述母液加入到所述混合溶液中，由此制备得到所述复合薄膜晶体管器件的迁移率达到130cm2V·s。本发明还提供一种顶栅铟镓锌铽氧碳纳米管复合薄膜晶体管及其制备方法，其复合薄膜是根据上述铟镓锌铽氧碳纳米管复合薄膜晶体管制备方法制备得到，所述顶栅铟镓锌铽氧碳纳米管复合薄膜晶体管的迁移率达到60cm2V·s。
本发明授权一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：所述方法包括： 步骤一，将稳定剂乙醇胺加入到乙二醇甲醚中，溶液记为A0； 步骤二，将硝酸铟、硝酸镓、硝酸锌和硝酸铽加入到溶液A0中作为前驱体，搅拌一定时长后，形成混合溶液； 步骤三，将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，记为溶液ACNT，将溶液ACNT分散液加入到上述混合溶液中，并继续超声，使碳纳米管在混合溶液中分散均匀； 步骤四，将步骤三所得溶液旋涂于预先生长有绝缘层的衬底上，烘干后继续旋涂，反复处理直至达到所需厚度； 步骤五，热退火，即得到铟镓锌铽氧碳纳米管复合薄膜材料； 在复合薄膜中，碳原子和氧化物中的金属阳离子摩尔比为25％； 步骤六，处理所述复合薄膜材料，获得铟镓锌铽氧基碳纳米管复合薄膜晶体管； 所述复合薄膜晶体管器件的迁移率达到130cm2V∙s，最大开态电流达到0.8mA。
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