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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116924324B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310973508.9，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法是由单崇新;林超男;张镇峰;焦富行;赵文博设计研发完成，并于2023-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法在说明书摘要公布了：一种本发明的光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法，首先将镜面抛光的钼片置入到微波等离子体设备中，控制通入的甲烷浓度，温度，内部压力，微波功率，生长时间等，实现对金刚石薄膜生长过程的控制，然后利用钼片和金刚石的热膨胀系数不同的特点，缓慢降温，生长完成的金刚石薄膜从钼片表面脱离下来，从而得到微米级超薄的、可用于光学传声领域的金刚石自支撑膜，最后通过激光切割在该金刚石自支撑膜上形成金刚石微悬臂梁，经测试，该金刚石微悬臂梁通过声波驱动其振动的灵敏度更高，同时能够覆盖的声波频率范围更宽，上述制作过程不涉及化学刻蚀与腐蚀基底的过程，制作过程更为环保，钼片本身还可以多次抛光反复使用，整体制作成本更低廉，更利于该金刚石微悬臂梁市场化推广。

本发明授权用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法，包括如下步骤； 1.基片台的准备 准备基片台，采用尺寸为2英寸的钼片，对其进行镜面抛光， 2.金刚石薄膜生长 将上述抛光后的基片台放入到微波等离子体设备，通入甲烷和氢气，进行金刚石薄膜生长，甲烷浓度为5％，余量为氢气，温度为850℃-880℃，腔体压力为120-150mbar，微波功率为3000W-5500W，生长时间从15小时-50小时，成长为厚度10-50μm的金刚石薄膜； 3.降温脱离 步骤2完成后，缓慢降低功率及压强，减缓温度降低速度，由于金刚石与钼之间的热膨胀系数不同，金刚石薄膜或从钼片表面脱落，得到自支撑金刚石薄膜； 4.激光切割制作微悬臂梁 将得到的自支撑金刚石薄膜，用激光直写设备根据微悬臂梁的尺寸图案进行激光切割，先切割外形，然后再切割n形的狭缝，制得微悬臂梁； 所述步骤1中钼片抛光后表面粗糙度5nm； 所述步骤3中缓慢降低温度，降温过程2-5个小时，自850℃-880℃降低到室温15℃-25℃。

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