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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利半导体温控系统及半导体温控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117438338B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311254498.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体温控系统及半导体温控方法是由李文博;曹小康;鲁元进;刘紫阳;靳李富;何茂栋;芮守祯;董春辉;张涵;顾晓虎设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体温控系统及半导体温控方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体温控系统及半导体温控方法。该系统包括主循环和支路循环。主循环包括主循环管路，设置于主循环管路上的第一阀体组件、第一温度检测组件以及电阻率检测组件。支路循环包括与主循环管路连通的过滤支路，以及设置于过滤支路上的过滤组件、支管路温控组件和第二阀体组件；支管路温控组件与过滤组件连通，用于对进入过滤组件的载冷剂进行降温，对流出过滤组件的载冷剂进行升温；第二阀体组件用于调控流入支管路温控组件的载冷剂的流量，还用于调控升温后的载冷剂流向主循环管路的流量。本发明能够保证进入到过滤组件内的载冷剂的温度低于树脂的工作温度，提高树脂的使用时间，减少更换次数，降低成本。

本发明授权半导体温控系统及半导体温控方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体温控系统，其特征在于，包括： 主循环，包括主循环管路110，设置于所述主循环管路110上的第一阀体组件120、第一温度检测组件130以及电阻率检测组件140； 所述第一阀体组件120用于调控所述主循环管路110内载冷剂的流量；所述第一温度检测组件130用于检测所述载冷剂的第一温度；所述电阻率检测组件140用于检测所述载冷剂的实际电阻率； 支路循环，包括与所述主循环管路110连通的过滤支路210，以及设置于所述过滤支路210上的过滤组件220、支管路温控组件230和第二阀体组件240； 所述支管路温控组件230与所述过滤组件220连通，用于对进入所述过滤组件220的所述载冷剂进行降温，同时对流出所述过滤组件220的载冷剂进行升温；所述第二阀体组件240用于调控流入所述支管路温控组件230的所述载冷剂的流量，还用于调控升温后的所述载冷剂流向所述主循环管路110的流量； 所述过滤支路210包括第一支管路211、第二支管路212、第三支管路213及第四支管路214； 所述支管路温控组件230包括： 降温单元，所述降温单元的进口端通过所述第一支管路211与所述主循环管路110连通；所述降温单元的出口端通过所述第三支管路213与所述过滤组件220的进口端连通；所述第四支管路214设置于所述第三支管路213与所述降温单元的进口端； 升温单元，所述升温单元的进口端与所述过滤组件220的出口端连通，所述升温单元的出口端通过所述第二支管路212与所述主循环管路110连通； 所述支路循环还包括： 第二温度检测组件250，设置于所述第三支管路213，用于检测所述载冷剂的第二温度； 所述支路循环还包括： 第三阀体组件270；所述第三阀体组件270设置于所述第三支管路213和所述第四支管路214，用于改变所述载冷剂的流向，使所述第二温度低于温度阈值的所述载冷剂流向所述过滤组件220，使所述第二温度不低于温度阈值的所述载冷剂流向所述降温单元的进口端；所述第二温度为所述第三支管路213内的载冷剂的温度。

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