杭州泽天春来科技股份有限公司于志伟获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州泽天春来科技股份有限公司申请的专利等离子体驱动电路及其驱动方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119786333B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411887467.2,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权等离子体驱动电路及其驱动方法是由于志伟;罗振中;沈辉萍;张涵;付聪;唐怀武设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体驱动电路及其驱动方法在说明书摘要公布了:本发明揭示了一种等离子体驱动电路及其驱动方法,所述等离子体驱动电路包括双平衡混频器、功率设置电路、误差放大器、压控振荡器、单端转差分电路、驱动电路及变压器电路;所述双平衡混频器分别连接驱动电路及所述变压器电路,误差放大器的输入端分别连接双平衡混频器及功率设置电路,误差放大器的输出端连接压控振荡器的输入端;压控振荡器的输出端连接单端转差分电路的输入端,单端转差分电路的输出端分别连接驱动电路的输入端;驱动电路的输出端分别连接所述变压器电路。本发明提出的等离子体驱动电路及其驱动方法,可利用纯硬件调整频率的方式,简单快速的适应进样溶液突变的情况,并且可以保证功率的稳定性。
本发明授权等离子体驱动电路及其驱动方法在权利要求书中公布了:1.一种等离子体驱动电路,其特征在于,所述等离子体驱动电路包括:双平衡混频器、功率设置电路、误差放大器、压控振荡器、单端转差分电路、驱动电路及变压器电路; 所述双平衡混频器分别连接驱动电路及所述变压器电路,所述误差放大器的输入端分别连接双平衡混频器及功率设置电路,所述误差放大器的输出端连接压控振荡器的输入端; 所述压控振荡器的输出端连接单端转差分电路的输入端,所述单端转差分电路的输出端分别连接驱动电路的输入端;驱动电路的输出端分别连接所述变压器电路; 所述双平衡混频器用以采集变压器电路最终输出的信号和驱动电路的信号作混频并筛选出基频;所述功率设置电路用以生成比较功率; 所述误差放大器用以将筛选出的基频与所述功率设置电路生成的比较功率做动态比较,产生误差信号; 所述压控振荡器用以利用产生的误差信号驱动压控振荡器产生可微调的频率;所述单端转差分电路用以将单路的信号转换成差分信号,增强驱动力; 所述驱动电路用以进一步增强驱动力,以驱动变压器电路;所述变压器电路用以实现阻抗变换,阻抗匹配的功能以适配等离子体线圈。
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