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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利温控系统、压力调节方法以及半导体工艺制程系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119828793B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411747426.3，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权温控系统、压力调节方法以及半导体工艺制程系统是由冯涛;孙硕;崔岳强;刘紫阳;王晓波;鲁元进;何茂栋;芮守祯;曹小康;董春辉设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本温控系统、压力调节方法以及半导体工艺制程系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种温控系统、压力调节方法以及制程系统。该温控系统包括循环液供给单元、液泵、调温单元、压力调节单元、压力检测单元以及控制单元。液泵从循环液供给单元中抽出循环液。调温单元的调温输入端与液泵的输出端连接，以调节液泵所输出的循环液的温度。调温单元的调温输出端连接外部用液装置，以为外部用液装置提供调温后的循环液。压力调节单元将未使用的循环液循环输入至循环液供给单元。压力检测单元检测调温输出端处的循环液的压力，以输出系统压力数据。控制单元分别与压力检测单元、压力调节单元以及液泵电连接，根据所接收的系统压力数据，对压力调节单元的开度以及液泵的工作频率进行调控，以调节温控系统中的循环液的压力。

本发明授权温控系统、压力调节方法以及半导体工艺制程系统在权利要求书中公布了：1.一种温控系统，其特征在于，包括： 循环液供给单元，提供循环液； 液泵，输入端与所述循环液供给单元连通，以从所述循环液供给单元中抽出所述循环液； 调温单元，所述调温单元的调温输入端与所述液泵的输出端连接，以调节所述液泵所输出的循环液的温度，所述调温单元的调温输出端连接外部用液装置，以为所述外部用液装置提供调温后的循环液； 压力调节单元，所述压力调节单元的一端连接所述调温输出端，所述压力调节单元的另一端连接所述循环液供给单元，以将未使用的循环液循环输入至所述循环液供给单元； 压力检测单元，检测所述调温输出端处的循环液的压力，以输出系统压力数据； 控制单元，分别与所述压力检测单元、所述压力调节单元以及所述液泵电连接，根据所接收的来自所述压力检测单元的所述系统压力数据，对所述压力调节单元的开度以及所述液泵的工作频率进行调控，以调节温控系统中的循环液的压力。

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