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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利兼容型开放式晶圆盒装载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905440B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510312325.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权兼容型开放式晶圆盒装载装置是由魏坤;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本兼容型开放式晶圆盒装载装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，公开了一种兼容型开放式晶圆盒装载装置，包括支撑底板、晶圆盒定位组件、晶圆盒在位检测组件和晶圆凸出检测组件。上述兼容型开放式晶圆盒装载装置可以兼容不同规格的晶圆盒，在更换晶圆盒时，无需更换晶圆盒定位组件或调整其位置，无需调整晶圆盒在位检测组件的位置，无需调整晶圆凸出检测组件的位置，且无论是缺口型晶圆还是平边型晶圆，晶圆凸出检测组件均不受影响，只需将晶圆盒放置到支撑底板上对应位置，即可自动识别晶圆盒的规格，整个过程基本不需要人工参与和确认，从而减少了操作的难度和出错的概率，更利于后续机械手取放晶圆。

本发明授权兼容型开放式晶圆盒装载装置在权利要求书中公布了：1.兼容型开放式晶圆盒装载装置，其特征在于，包括支撑底板1、安装在所述支撑底板1上的晶圆盒定位组件2、晶圆盒在位检测组件3和晶圆凸出检测组件4，其中： 所述晶圆盒定位组件2包括第一定位块21、第二定位块22和第三定位块23，所述第一定位块21与所述第二定位块22配合以定位第一种规格的晶圆盒，所述第二定位块22与所述第三定位块23配合以定位第二种规格的晶圆盒； 所述晶圆盒在位检测组件3包括若干个在位传感器，所述在位传感器用于判断晶圆盒是否放置到位；所述晶圆盒在位检测组件3包括第一在位传感器31和第二在位传感器32，所述第一定位块21与所述第二定位块22之间的间隙内设置有至少一个所述第一在位传感器31，用于检测第一种规格的晶圆盒底部的中间棱边是否在位；所述第二定位块22与所述第三定位块23之间的间隙内设置有至少一个所述第二在位传感器32，用于检测第二种规格的晶圆盒底部的中间棱边是否在位； 所述晶圆凸出检测组件4包括至少两个凸出检测传感器41，两个所述凸出检测传感器41的光斑同时与不同规格的晶圆盒中晶圆的外轮廓相切，且两个所述凸出检测传感器41的光斑的中心距离不小于所述晶圆的定位边长度。

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