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苏州汉骅半导体有限公司倪贤锋获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州汉骅半导体有限公司申请的专利一种全彩Micro LED显示器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119947376B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411981595.3,技术领域涉及:H10H29/30;该发明授权一种全彩Micro LED显示器件及其制备方法是由倪贤锋;范谦设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种全彩Micro LED显示器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种全彩MicroLED显示器件及其制备方法,器件包括若干组显示单元,所述显示单元包括:第一N‑GaN层,蓝光LED发光层,第一P‑GaN层,第一重掺PN结层,第二N‑GaN层,绿光LED发光层,第二P‑GaN层,第二重掺PN结层,第三N‑GaN层,红光LED发光层,第三P‑GaN层,第三重掺PN结层,第四N‑GaN层,金属反射层;钝化层,覆盖所述第一N‑GaN层、蓝光LED发光层、第一P‑GaN层、第一重掺PN结层、第二N‑GaN层、绿光LED发光层、第二P‑GaN层、第二重掺PN结层、第三N‑GaN层、红光LED发光层、第三P‑GaN层、第三重掺PN结层、第四N‑GaN层、金属反射层的侧壁;第一电极、第二电极、第三电极、第四电极上表面高度齐平;CMOS驱动器,覆盖键合层的上表面并电连接所述第一电极、第二电极、第三电极、第四电极。

本发明授权一种全彩Micro LED显示器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种全彩MicroLED显示器件的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤: 形成第一部件,包括以下步骤: 步骤11,提供一硅衬底,在所述硅衬底表面依次外延生长形核层、缓冲层、第一N-GaN层、蓝光LED发光层、第一P-GaN层、第一重掺PN结层、第二N-GaN层、绿光LED发光层、第二P-GaN层、第二重掺PN结层、第三N-GaN层、红光LED发光层、第三P-GaN层、第三重掺PN结层、第四N-GaN层; 步骤12,第一次刻蚀,沿所述第一部件的厚度方向刻蚀所述第一N-GaN层上各层的一部分及所述第一N-GaN层一部分,在所述第一N-GaN层的侧边形成第一台阶; 步骤13,第二次刻蚀,沿所述第一部件的厚度方向刻蚀所述第二N-GaN层上各层的一部分及所述第二N-GaN层一部分,在所述第二N-GaN层的侧边形成第二台阶; 步骤14,第三次刻蚀,沿所述第一部件的厚度方向刻蚀所述第三N-GaN层上各层的一部分及所述第三N-GaN层一部分,在所述第三N-GaN层的侧边形成第三台阶; 步骤15,在所述第四N-GaN层的上表面形成金属反射层; 步骤16,形成钝化层,所述钝化层覆盖所述第一N-GaN层、蓝光LED发光层、第一P-GaN层、第一重掺PN结层、第二N-GaN层、绿光LED发光层、第二P-GaN层、第二重掺PN结层、第三N-GaN层、红光LED发光层、第三P-GaN层、第三重掺PN结层、第四N-GaN层、金属反射层的侧壁; 步骤17,在所述第一台阶、第二台阶、金属反射层、第三台阶上方分别设置第一子电极、第二子电极、第三子电极、第四子电极; 步骤18,形成第一键合层,所述第一键合层填充所述第一子电极、第二子电极、第三子电极、第四子电极、钝化层相互之间的间隙,并覆盖所述金属反射层; 步骤19,平坦化所述第一键合层; 形成第二部件,包括以下步骤: 步骤21,提供一CMOS驱动器,在所述CMOS驱动器上方形成第二键合层; 步骤22,沿所述第二键合层厚度方向刻蚀第二键合层,形成四个贯穿所述第二键合层的贯孔; 步骤23,在所述贯孔内分别放置第一接触电极、第二接触电极、第三接触电极、第四接触电极; 键合所述第一部件和所述第二部件,包括以下步骤: 步骤31,水平转置所述第二部件,将所述第一子电极与所述第一接触电极、所述第二子电极与所述第二接触电极、所述第三子电极与所述第三接触电极、所述第四子电极与所述第四接触电极对准键合,并分别形成第一电极、第二电极、第三电极、第四电极; 步骤32,去除所述硅衬底、形核层、缓冲层,得到所述全彩MicroLED显示器件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州汉骅半导体有限公司,其通讯地址为:215127 江苏省苏州市苏州工业园区长阳街259号钟园工业坊B0-1F西侧;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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