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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利负载锁定室及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965123B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510045595.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权负载锁定室及半导体设备是由方庆银;田硕涛;金有源;师羊羊;宋云龙设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本负载锁定室及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请实施方式提供一种负载锁定室及半导体设备。负载锁定室包括：腔体，设有至少一个充气端口及第一腔室，所述至少一个充气端口与所述第一腔室相互连通；第一盖体，第一盖体盖合在所述第一腔室上并与所述腔体连接，所述第一盖体与所述腔体的内壁共同形成第一环形气道及第一环形缝隙，所述第一环形气道与所述第一腔室连通，所述第一环形气道与所述第一环形缝隙沿第一方向排列设置并相连通，所述第一环形气道具有与所述充气端口相连通的第一连通口，所述第一环形缝隙包括连通设置的第一宽度段及第二宽度段，所述第一环形缝隙的第一宽度段的宽度不同于所述第一环形缝隙的第二宽度段的宽度。

本发明授权负载锁定室及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种负载锁定室，其特征在于，包括： 腔体，设有至少一个充气端口及第一腔室，所述至少一个充气端口与所述第一腔室相互连通； 第一盖体，第一盖体盖合在所述第一腔室上并与所述腔体连接，所述第一盖体与所述腔体的内壁共同形成第一环形气道及第一环形缝隙，所述第一环形气道与所述第一腔室连通，所述第一环形气道与所述第一环形缝隙沿第一方向排列设置并相连通，所述第一环形缝隙包括连通设置的第一宽度段及第二宽度段； 所述第一环形气道具有与所述至少一个充气端口相连通的第一连通口，所述第一环形缝隙的第一宽度段设于所述第一环形缝隙靠近所述第一连通口的一侧，所述第一环形缝隙的第二宽度段设于所述第一环形缝隙远离第一连通口的一侧；所述第一环形缝隙的第一宽度段的宽度大于所述第一环形缝隙的第二宽度段的宽度； 气体可经由所述充气端口和所述第一连通口进入所述第一环形气道，再经由所述第一环形气道、所述第一环形缝隙的第一宽度段、所述第一环形缝隙的第二宽度段进入所述第一腔室内。

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