北京理工大学鲍秀娥获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119986321B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510165186.4，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统是由鲍秀娥;刘书超;王存;王泽宇设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统，包括：在探针相对晶圆电极触板移动对准的过程中，实时获取GSG三个触点相对三个接触垫片的散射参数；根据散射参数的极坐标图位置执行探针的调平操作，包括：根据散射参数的极坐标图位置调控GSG三个触点连线与电极触板所在平面的夹角θ，使GSG三个触点连线与电极触板所在平面平行；根据散射参数的实部值变化执行探针的三维位置的对准操作，包括：根据散射参数的实部值变化调控GSG三个触点相对三个接触垫片的XYZ轴的位置，使GSG三个触点分别与三个接触垫片接触。本发明实现了探针在X、Y、Z和θ四个方向上的自动精细调控，以提高对准精度、可重复性和测量准确性。
本发明授权基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法，其特征在于，探针GSG三个触点用于与晶圆电极触板的三个接触垫片同时接触实现晶圆测试；包括如下步骤： 在探针相对所述晶圆电极触板移动对准的过程中，实时获取GSG三个触点相对所述三个接触垫片的散射参数； 根据散射参数的极坐标图位置执行所述探针的调平操作，包括：根据散射参数的极坐标图位置调控GSG三个触点连线与所述晶圆电极触板所在平面的夹角θ，使GSG三个触点连线与所述晶圆电极触板所在平面平行； 根据散射参数的实部值变化执行所述探针的三维位置的对准操作，包括：根据散射参数的实部值变化调控GSG三个触点相对所述三个接触垫片的XYZ轴的位置，使GSG三个触点分别与所述三个接触垫片接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学，其通讯地址为：100081 北京市海淀区中关村南大街五号北京理工大学中关村校区4号教学楼218；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励