买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉讯创(天津)电子有限公司申请的专利一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120400779B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510628153.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺是由王萌;刘冬生;刘翰知;赵欣设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及溅射镀膜技术领域，具体涉及一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺，多离子源同步溅射镀膜工艺包括采用多离子源同步溅射镀膜装置进行镀膜；多离子源同步溅射镀膜装置包括壳体和多个均插装在壳体内的阴极射头，阴极射头包括连接臂、靶座、压接部、屏蔽罩和多个第一螺栓，靶座用于放置靶材；压接部压接在靶材上；屏蔽罩罩设在压接部上，且能够和连接臂形成螺纹配合，屏蔽罩上设置有多个第一齿凸；第一螺栓插装在压接部内，且能够和靶座形成螺纹配合，并能够和压接部形成止挡配合，每个第一螺栓上均设置多个第二齿凸，第二齿凸能够和第一齿凸形成啮合配合，从而可通过屏蔽罩带动所有的第一螺栓同步转动，从而可提高拆装效率。

本发明授权一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺在权利要求书中公布了：1.一种多离子源同步溅射镀膜装置，其特征在于，所述多离子源同步溅射镀膜装置包括壳体和多个均插装在所述壳体内的阴极射头； 其中，所述阴极射头指向待镀膜件，且包括连接臂、靶座、压接部、屏蔽罩和多个第一螺栓，所述连接臂设置在所述壳体上；所述靶座设置在所述连接臂上，且用于放置靶材；所述压接部压接在所述靶材上；所述屏蔽罩罩设在所述压接部和所述靶座上，且和所述连接臂形成螺纹配合，所述屏蔽罩上沿周向设置有多个第一齿凸；所述第一螺栓插装在所述压接部内，且和所述靶座形成螺纹配合，所述第一螺栓和所述压接部形成止挡配合，每个所述第一螺栓上均沿周向排布有多个第二齿凸，所述第二齿凸能够和所述第一齿凸形成啮合配合； 每个所述第一螺栓上均设置有外螺纹；所述靶座上设置有多个安装孔，每个所述安装孔上均设置有内螺纹，所述内螺纹和所述外螺纹形成螺纹配合；所述屏蔽罩能够和所有的所述第一螺栓形成止挡配合；沿重力方向，当所述第一螺栓位于所述安装孔上方或下方时，所述阴极射头还包括数量均有多个的第一限位槽、第二限位槽、凸起和第一弹性件第二弹性件，所述第一限位槽开设在所述安装孔的内周壁上，且能够和所述第一螺栓形成止挡配合；所述第二限位槽开设在所述安装孔的内周壁上，且和所述第一限位槽连通；多个所述凸起沿所述第一螺栓的轴线方向排布，且分别设置在最靠近所述安装孔的相邻的多层所述外螺纹上，所述凸起能够滑动插装在所述第二限位槽内，以限制所述第一螺栓的转动，所述凸起能够和所述内螺纹形成螺纹配合；所述第一弹性件设置在所述压接部和所述第一螺栓之间，且配置成具有带动所述凸起插入所述第二限位槽的趋势；所述第二弹性件设置在所述靶座和所述第一螺栓之间，且配置成具有带动所述第一螺栓拔出所述安装孔的趋势。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人讯创(天津)电子有限公司，其通讯地址为：300385 天津市西青区经济开发区宏源道12号天直工业园4号B座；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。