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龙图腾网获悉上海探跃半导体设备有限公司申请的专利一种定位装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120453223B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510572379.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种定位装置及其使用方法是由苏朝腾;黎赛;覃建宁设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种定位装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及机械定位技术领域，具体公开了一种定位装置及其使用方法，该定位装置包括安装底座、第一探测组件、压接组件、驱动组件和定位组件；安装底座具有定位工位，吸盘能够将晶圆本体吸取至定位工位；第一探测组件设于安装底座；压接组件、驱动组件和定位组件均设于安装底座；压接组件、驱动组件和定位组件呈三角形分布，晶圆本体能够位于压接组件、驱动组件和定位组件之间。本发明的定位装置能够使得晶圆本体缺口的定位位置和缺口的开口方向均确定，以此实现对晶圆本体的缺口的精确定位，该定位装置对缺口的定位精确，且晶圆本体的位置与需求位置不会出现差异，因此不会对后续工艺造成影响。

本发明授权一种定位装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种定位装置，用于对吸盘所吸取晶圆本体7的缺口71进行定位，其特征在于，所述定位装置包括： 安装底座1，所述安装底座1具有定位工位，所述吸盘能够将所述晶圆本体7吸取至所述定位工位； 第一探测组件2，所述第一探测组件2设于所述安装底座1，用于探测所述晶圆本体7的所述缺口71，以对所述缺口71进行初步定位； 压接组件3、驱动组件4和定位组件5，所述压接组件3、所述驱动组件4和所述定位组件5均设于所述安装底座1；所述压接组件3、所述驱动组件4和所述定位组件5呈三角形分布，所述晶圆本体7能够位于所述压接组件3、所述驱动组件4和所述定位组件5之间；所述压接组件3用于朝靠近所述驱动组件4和所述定位组件5的一侧压接所述晶圆本体7，以使所述晶圆本体7的边缘能够抵接于所述驱动组件4和所述定位组件5，并使所述压接组件3、所述驱动组件4和所述定位组件5能够对所述晶圆本体7进行三点定位；所述驱动组件4用于驱动所述晶圆本体7旋转，以使所述定位组件5能够嵌设于所述晶圆本体7的所述缺口71内；当所述驱动组件4驱动所述晶圆本体7旋转时，所述缺口71能够产生旋转，并使所述晶圆本体7相对于所述安装底座1的相对位置不会发生改变；当所述晶圆本体7在所述压接组件3的持续压接下旋转到所述缺口71对应所述定位组件5时，所述晶圆本体7能够产生位移，以使所述定位组件5嵌设于所述缺口71内，并使所述缺口71的定位位置和所述缺口71的开口方向均确定； 所述压接组件3包括压接电机31、摆动杆32和滚轮33，所述压接电机31设于所述安装底座1，所述摆动杆32的一端连接于所述压接电机31的驱动端，所述摆动杆32的另一端转动连接有所述滚轮33；所述压接电机31用于驱动所述摆动杆32摆动，以使所述滚轮33压接于所述晶圆本体7。

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