江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种片盒处理设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120511219B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510977944.2,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种片盒处理设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种片盒处理设备在说明书摘要公布了:本发明的实施例提供了一种片盒处理设备,涉及半导体容器处理技术领域。本发明提供的片盒装载架包括架体与旋转组件,架体至少具有从上至下设置的第一装载空间与第二装载空间,第一装载空间用于容纳盖体,第二装载空间用于容纳盒体;旋转组件,位于第一装载空间内,包括安装架和与安装架转动连接的旋转架,旋转架具有至少一个用于容纳盖体的容纳空间,且旋转架能够在外力作用下带动盖体转动,以使清洗液从盖体上分离。片盒处理设备包括清洗机构、干燥机构与前述片盒装载架。本发明具有便于排出盖体内外的清洗液,以便于对盖体进行干燥的效果。
本发明授权一种片盒处理设备在权利要求书中公布了:1.一种片盒处理设备,包括清洗机构、干燥机构、转动机构与片盒装载架,所述片盒包括盒体与盖体,其特征在于,所述盖体中空设置,所述盖体内部具有异形结构,所述盖体两侧具有窗口;所述清洗机构用于对所述片盒装载架上的所述盒体与所述盖体进行冲洗,所述干燥机构用于朝向所述片盒装载架鼓风以对所述盒体与所述盖体进行干燥,所述片盒装载架设置于所述转动机构并能够围绕所述转动机构的竖直中心轴转动;所述片盒装载架包括: 架体,至少具有从上至下设置的第一装载空间与第二装载空间,所述第一装载空间用于容纳所述盖体,所述第二装载空间用于容纳所述盒体; 旋转组件,位于所述第一装载空间内,包括安装架和与所述安装架转动连接的旋转架,所述旋转架沿所述安装架的水平中心轴转动,所述旋转架具有至少一个用于容纳所述盖体的容纳空间,且所述旋转架能够在所述干燥机构的作用下带动所述盖体转动,以使清洗液从所述盖体上分离。
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