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龙图腾网获悉芯睿迪(上海)科技有限公司申请的专利一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120515741B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510947669.X，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备是由顾振设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备，包括抓手模块、风针模块、移动底座模块、旋转抓手模块、风刀吹扫模块、背洗模块、条码区清洗模块，各模块相互配合，Mask抓手模块精准抓取、释放光掩膜版，移动底座模块实现各工位间转移，风针模块、风刀吹扫模块、背洗模块、Barcode清洗模块、旋转抓手模块分别针对不同部位Pellicleside、Glassside、Barcode等，依据其特性采用氮气吹扫、超纯水清洗、无尘布辅助等方式，从不同维度保障光掩膜版各部位清洗效果，解决传统人工清洗的诸多弊端，实现对贴有Pellicle薄膜光掩膜版高效、精准、全面清洗。

本发明授权一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备，其特征在于，包括抓手模块2、风针模块1、移动底座模块6、旋转抓手模块7、风刀吹扫模块3、背洗模块4、Barcode条码区清洗模块5；将光掩膜版放置到旋转抓手模块7上，由抓手模块2抓取光掩膜版，通过移动底座模块6带动抓手模块2移动，依次或择一经过风针模块1、背洗模块4、风刀吹扫模块3、Barcode条码区清洗模块5，完成光掩膜版玻璃面、保护膜面、Barcode条码区的清洗，其中：玻璃面清洗时，抓手模块2抓取光掩膜版使玻璃面朝下，移动底座模块6带动其移动至背洗模块4进行超纯水清洗，再移动至风刀吹扫模块3吹扫玻璃面水渍；保护膜面清洗时，抓手模块2抓取光掩膜版使保护膜面朝上，移动底座模块6带动其移动至旋转抓手模块7，旋转抓手模块7带动光掩膜版旋转，风针模块1对准保护膜面进行高纯氮气吹扫；Barcode条码区清洗时，抓手模块2抓取光掩膜版使保护膜面朝下，移动底座模块6带动其移动至Barcode条码区清洗模块，Barcode条码区清洗模块先通超纯水湿润无尘布对Barcode条码区水洗，再移动至风针模块1，风针模块1对Barcode条码区针对性氮气吹扫。

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