安徽旭合新能源科技有限公司李宝磊获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽旭合新能源科技有限公司申请的专利一种太阳能电池硅片的微纳刻蚀工艺及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120529682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510691905.6，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种太阳能电池硅片的微纳刻蚀工艺及设备是由李宝磊;刘晓瑞;王波;许佳平;路忠林;秦臻设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种太阳能电池硅片的微纳刻蚀工艺及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及刻蚀技术领域，具体为本发明的有益效果是：一种太阳能电池硅片的微纳刻蚀工艺及设备，包括机体以及设置于机体内的刻蚀组件，所述机体内设置有用于固定硅片的夹持组件，和承载硅片的承载组件，还包括：分隔组件，设置于机体内，其包括分隔板以及设置于分隔板两侧的扭簧柱，通过驱动机构带动承载机构向下移动，使得分隔组件能够在刻蚀时，防止蚀刻液溅射到滚轮组，提高滚轮组使用寿命的同时，避免滚轮组复位对硅片运输时造成硅片再污染，而影响刻蚀精度，且承载机构向下移动时，会带动刮板在分隔板的表面移动，从而刮除分隔板表面的刻蚀沉淀，便于刻蚀液再生时，对沉淀物的再生回收。
本发明授权一种太阳能电池硅片的微纳刻蚀工艺及设备在权利要求书中公布了：1.一种太阳能电池硅片的微纳刻蚀设备，包括机体1以及设置于机体1内的刻蚀组件，所述机体1内设置有用于固定硅片的夹持组件，和承载硅片的承载组件，其特征在于：还包括： 分隔组件，设置于机体1内，其包括分隔板4以及设置于分隔板4两侧的扭簧柱41，在夹持组件固定硅片，并带动承载组件下降时被动打开，且在承载组件处于其下方时，自动复位分隔刻蚀组件和承载组件； 所述承载组件包括承载机构和驱动机构，所述承载机构包括处于机体1内的安装板3以及固定安装在安装板3上的伺服电机31，所述伺服电机31的输出轴上固定安装有滚轮组32； 还包括固定安装在滚轮组32两端的驱动轮56，所述驱动轮56的直径大于滚轮组32上滚轮的直径； 还包括清洁组件，所述清洁组件包括设置于分隔板4两侧的伸缩弹簧柱52以及设置于伸缩弹簧柱52上的刮板53，所述刮板53上设置有卡柱54，所述驱动轮56上开设有卡槽57。
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