甬江实验室吴丽婷获国家专利权
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龙图腾网获悉甬江实验室申请的专利增强晶圆对准精度的方法和结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120581492B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511088299.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权增强晶圆对准精度的方法和结构是由吴丽婷;张瓦利;钟飞;张璐铭设计研发完成，并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本增强晶圆对准精度的方法和结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种增强晶圆对准精度的方法和结构，该增强晶圆对准精度的方法，包括：提供晶圆，并在晶圆上形成多组晶向标记，各组晶向标记以晶圆的圆心为对称中心而旋转对称分布在晶圆两侧的扇形区域内，扇形区域的角平分线与晶圆上的晶向平边平行。在多组晶向标记中定位出基准晶向标记，基准晶向标记为最接近晶圆的大晶向的晶向标记。在晶圆上形成对准掩模层，并将器件掩模版上的对准标记转移至对准掩模层，以在对准掩模层上形成正式对准标记，并使正式对准标记对准基准晶向标记。测算正式对准标记与基准晶向标记的对准精度值，判断对准精度值是否满足要求。该方法能够提高晶圆的晶向对准精度，实现器件图形与晶向的精对准，提高产品良率。
本发明授权增强晶圆对准精度的方法和结构在权利要求书中公布了：1.一种增强晶圆对准精度的方法，其特征在于，包括： 提供晶圆，并在所述晶圆上形成多组晶向标记，各组所述晶向标记以所述晶圆的圆心为对称中心而旋转对称分布在所述晶圆两侧的扇形区域内，所述扇形区域的角平分线与所述晶圆上的晶向平边平行； 在所述多组晶向标记中定位出基准晶向标记，所述基准晶向标记为最接近所述晶圆的大晶向的晶向标记； 在所述晶圆上形成对准掩模层，并将器件掩模版上的对准标记转移至所述对准掩模层，以在所述对准掩模层上形成正式对准标记，并使所述正式对准标记对准所述基准晶向标记； 测算所述正式对准标记与所述基准晶向标记的对准精度值，判断所述对准精度值是否满足要求。
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