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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120614741B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511121389.X，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备是由陈磊;李炎;程厚义;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备，其中一种等离子体发生装置，包括等离子体发生模块和变距模组；所述等离子体发生模块包括反应管和线圈，所述线圈缠绕在反应管的外侧；所述变距模组包括若干可移动的滑块，缠绕在反应管外侧的线圈与所述滑块连接；当所述滑块移动时带动缠绕的每一圈线圈移动。由于不同的沉积工艺要求等离子体密度与强度不同，变距模组改变每匝线圈之间的间距，进而改变感应磁场的强度，通过感应磁场强度改变等离子体的特性、感应效率等。变距模组还能整体调整线圈的位置，从而改变线圈距离样品之间的高度，进而影响到达样品的等离子体密度。提高工艺灵活性。

本发明授权一种等离子体发生装置及等离子体增强原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体发生装置，其特征在于：包括等离子体发生模块7和变距模组8； 所述等离子体发生模块7包括反应管704和线圈707，所述线圈707缠绕在反应管704的外侧； 所述变距模组8包括若干可移动的滑块801，缠绕在所述反应管704外侧的每一圈线圈707对应与一个所述滑块801连接，或者缠绕在所述反应管704外侧的每一圈线圈707两侧对应设置一个所述滑块801； 当所述滑块801移动时带动缠绕的每一圈线圈移动从而改变线圈707的间距或高度； 所述滑块801与蜗杆连接，所述蜗杆上开设若干螺旋式导程凹槽，每个所述滑块801通过导向块对应连接至一个螺旋式导程凹槽中；所述蜗杆转动时，带动滑块801作不同行程的移动； 所述反应管704的外侧套设连接屏蔽壳701；所述屏蔽壳701的一侧开设第一开口702，用于所述滑块801通过；另一侧开设第二开口703，用于所述线圈707的两端通过； 所述线圈707的两端伸出至所述屏蔽壳701的外侧与夹紧组件连接；所述夹紧组件包括夹紧支架101和滑动连接在夹紧支架101上的两个夹紧器102；所述线圈707的两端分别与夹紧器102连接。

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