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龙图腾网获悉南京大学申请的专利基于阿基米德螺旋线电极的兰姆波谐振器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120658225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511157993.8，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权基于阿基米德螺旋线电极的兰姆波谐振器是由余思远;余楠鑫;陈延峰设计研发完成，并于2025-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于阿基米德螺旋线电极的兰姆波谐振器在说明书摘要公布了：本发明公开了基于阿基米德螺旋线电极的兰姆波谐振器，包括固定基底层、位于所述固定基底层上的铌酸锂单晶薄膜、开设于铌酸锂单晶薄膜中心的圆形刻蚀窗口、通过所述圆形刻蚀窗口释放形成的圆形悬浮铌酸锂薄膜以及设置于所述圆形悬浮铌酸锂薄膜上的阿基米德螺旋线电极结构。本发明提出的中心处LN薄膜圆形释放窗口通过各向同性干法刻蚀实现薄膜由中心向四周360°等距离扩散，使得谐振器四周的无效的LN悬浮面积最小化，有利于器件集成度和小型化；圆形的LN悬浮，在360°全方向都具有锚定结构，具有更好的力学稳定性以及散热能力；该螺旋电极结构通过圆心以及电极终端两处位置设计母线结构，避免了母线寄生电场带来的杂散模式。

本发明授权基于阿基米德螺旋线电极的兰姆波谐振器在权利要求书中公布了：1.一种基于阿基米德螺旋线电极的兰姆波谐振器，其特征在于，包括：固定基底层6、位于所述固定基底层上的铌酸锂单晶薄膜5、开设于铌酸锂单晶薄膜5中心的圆形刻蚀窗口4、通过所述圆形刻蚀窗口4释放形成的圆形悬浮铌酸锂薄膜2以及设置于所述圆形悬浮铌酸锂薄膜2上的阿基米德螺旋线电极结构1； 还包括母线电极结构3，包含：位于电极中心区域的环形连接结构，用于连接信号端电极、位于电极外圈的接地端连接结构；所述母线电极结构使多对螺旋电极并联且不引入y方向寄生电场； 所述阿基米德螺旋线电极结构1由多对m和多圈n的螺旋电极组成，通过阿基米德螺旋线参数化方程定义： 其中r为螺旋线初始起点，m为电极对数，p为电极周期，s自变量表示螺旋电极的旋转角度，从0增大到n·2π，其中n为电极圈数，在构建多对电极结构的同时通过增减周期保持间距相等； 所述圆形刻蚀窗口4的直径w1为5～20μm，通过各向同性干法刻蚀实现圆形悬浮铌酸锂薄膜2由中心向四周360°等距离扩散。

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