上海车仪田科技有限公司张南南获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种刻蚀终点的图像检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120727597B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511203039.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种刻蚀终点的图像检测方法是由张南南;张黎明;钟辉;郭军涛;唐凯;黄兴玉设计研发完成，并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀终点的图像检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种刻蚀终点的图像检测方法，用于刻蚀终点检测，所述图像检测方法包括接收晶圆的输出图像；对所述输出图像的每个像素点进行检测，建立联合掩膜Mx,y；根据联合掩膜Mx,y建立检测区域，得到多个待检测终点图像；建立灰度值和时间的图像，确定在对应时间点内的灰度值图像，得到在刻蚀终点时的终点帧t1；根据所述终点帧t1确定刻蚀终点，得到中间图像；对所述中间图像进行缺陷指标值检测，得到缺陷区域；剔除所述缺陷区域中的被误认为缺陷指标的部分，对剩余的缺陷指标进行修复，得到修复完成的刻蚀终点图像。本发明能够实时检测刻蚀终点并对输出的刻蚀终点图像进行检测。
本发明授权一种刻蚀终点的图像检测方法在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀终点的图像检测方法，其特征在于，用于刻蚀终点检测，所述图像检测方法包括： 接收晶圆的输出图像； 对所述输出图像的每个像素点进行检测，建立联合掩膜Mx,y；根据所述联合掩膜Mx,y建立检测区域，得到多个待检测终点图像； 建立灰度值和时间的图像，确定在对应时间点内的灰度值图像，得到在刻蚀终点时的终点帧t1； 根据所述终点帧t1确定刻蚀终点，得到中间图像； 对所述中间图像进行缺陷指标值检测，得到缺陷区域； 剔除所述缺陷区域中的被误认为缺陷指标的部分，对剩余的缺陷指标进行修复，得到修复完成的刻蚀终点图像。
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