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沈阳星光新材料有限公司任云获国家专利权

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龙图腾网获悉沈阳星光新材料有限公司申请的专利一种重结晶碳化硅晶舟部件的粘接方法及其柔性专用夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120736917B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511220448.9,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种重结晶碳化硅晶舟部件的粘接方法及其柔性专用夹具是由任云;刘长春;周琨;刘会才设计研发完成,并于2025-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种重结晶碳化硅晶舟部件的粘接方法及其柔性专用夹具在说明书摘要公布了:本发明涉及重结晶碳化硅晶舟制造技术领域,具体地说是一种重结晶碳化硅晶舟部件的粘接方法及其柔性专用夹具,包括如下步骤:将重结晶碳化硅N粉制作成高纯晶舟部件素坯,然后进行数控机床粗加工;将粗加工后的部件素坯完成烧结;将烧结后的部件再次进行数控机床精加工;使用超声波清洗设备将烧结后的部件清洗干净;使用柔性专用夹具精准定位后进行部件粘接;进行整体烧结;两个定位球为一组,其利用卡杆移动时的力在向天板或者底板移动时配合引导板同步分离至两个定位球与底座中心的连线夹角为20度,再通过与定位件的引导移入限位槽内侧,配合设置于两个调节件内部的弹力件二在两个定位球与天板或者底板的卡孔卡接后使两个卡孔移动至底座轴心所在的水平面。

本发明授权一种重结晶碳化硅晶舟部件的粘接方法及其柔性专用夹具在权利要求书中公布了:1.一种重结晶碳化硅晶舟部件的粘接方法,其特征在于:包括如下步骤: S1、将重结晶碳化硅4N粉通过成型工艺制作成高纯晶舟部件素坯,然后进行数控机床粗加工; S2、将粗加工后的部件素坯在高纯烧结炉内完成烧结; S3、将烧结后的部件再次进行数控机床精加工; S4、使用超声波清洗设备通过酸、碱液将烧结后的部件清洗干净; S5、尺寸精准的部件使用柔性专用夹具精准定位,使用专用粘结浆料进行部件粘接; 其中,柔性专用夹具包括基座和设置于其顶部的两个底座,每个底座的内侧均固定有三角柱,每个所述底座的内侧滑动连接有三个卡杆,两个底座相互靠近的一侧滑动卡接有尺寸块,两个底座相互靠近的一侧开设有限位槽,限位槽的内侧设置有定位件,每个卡杆的底部均固定有处于拉伸状态的弹性件一,三个卡杆的另一端均传动连接有两个调节件,两个调节件的内侧均滑动连接有两组定位球,每个底座的外侧均固定有两个引导板; 两组定位球,两个定位球为一组,其通过利用卡杆移动时的力在向天板或者底板移动时配合引导板同步分离至两个定位球与底座中心的连线夹角为20度,再通过与定位件的引导移入限位槽内侧,配合设置于两个调节件内部的弹力件二在两个定位球与天板或者底板的卡孔卡接后使两个卡孔移动至底座轴心所在的水平面; S6、将组装好的晶舟进行整体烧结。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人沈阳星光新材料有限公司,其通讯地址为:110000 辽宁省沈阳市新民市胡台新城繁荣六路42号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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