长沙理工大学石尔获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙理工大学申请的专利一种超薄硅基均热板及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120740353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511238882.X，技术领域涉及：F28D15/04；该发明授权一种超薄硅基均热板及制备方法是由石尔;姜臻皓;钟鑫翔;彭启;赵斌设计研发完成，并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超薄硅基均热板及制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于相变换热技术领域，提供了一种超薄硅基均热板及制备方法，包括上盖板和下盖板，上盖板与下盖板连接围成蒸汽腔，上盖板的冷凝端吸液芯采用飞秒激光线扫描技术处理，形成具有亲水微槽和覆盖低表面能涂层的疏水微脊相间的亲疏水复合阵列，能够促进冷凝后的液体工质定向回流，使液体工质更容易回流至蒸发端吸液芯。下盖板的蒸发端吸液芯通过飞秒激光线扫描技术处理，产生微纳米级的亲水孔链结构，该结构能够实现各向同性扩散，增加传热面积，提高吸热的均匀性。本发明在半导体晶圆衬底材料上通过飞秒激光线扫描技术在材料表面烧蚀和诱导出微纳米结构尺寸，可有效解决微纳结构与基体之间的接触热阻和界面结合力问题。
本发明授权一种超薄硅基均热板及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种超薄硅基均热板，其特征在于，包括： 上盖板，所述上盖板的内侧表面设置有冷凝端吸液芯，所述冷凝端吸液芯加工有阵列的亲水微槽，相邻的所述亲水微槽之间形成有疏水微脊，所述疏水微脊的顶面覆盖有低表面能涂层； 下盖板，所述下盖板的内侧表面设置有蒸发端吸液芯，所述蒸发端吸液芯加工有亲水孔链结构； 所述上盖板与所述下盖板连接围成蒸汽腔，所述上盖板和所述下盖板为硅基板。
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