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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120741480B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511166507.9，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置及方法是由张斗国;谢书玥设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置及方法，属于工业缺陷成像检测技术领域，该装置包括：共轴排列的偏振相机、成像镜头、偏振环形LED光源和待检测样品；其中，偏振相机和成像镜头组成一个偏振成像系统，偏振环形LED光源发出带有倾角的线偏振光，线偏振光在待测样品上发生反射与散射；线偏振光入射至待检测样品的表面，待检测样品的少量反射与大部分散射光通过偏振环形LED光源中心的圆孔被成像镜头和偏振相机收集，最终成像。本发明缺陷深度可以由缺陷宽度和缺陷倾角计算得到，从而实现低频线偏振度反演缺陷深度，解决了现有技术无法有效提取缺陷深度信息的问题。

本发明授权一种基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测方法，其特征在于，包括： 步骤1，计算线偏振度图像，具体包括：基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置按共轴摆放，调节偏振环形LED光源至合适的亮度，利用偏振相机同步拍摄四个偏振方向的原始偏振图；由四个偏振方向的原始偏振图计算斯托克斯矢量，由斯托克斯矢量计算生成低频线偏振度图； 步骤2，对步骤1中所得的低频线偏振度图进行三维块匹配降噪滤波，得到降噪后的低频线偏振度图； 步骤3，根据步骤2得到的降噪后的低频线偏振度图定标缺陷切面倾角与低频线偏振度的线性方程； 步骤4，根据步骤3中计算得到的缺陷切面倾角与低频线偏振度的线性方程对缺陷进行深度反演； 步骤5，对步骤1中拍摄得到的四个偏振方向的原始偏振图进行零频滤波并计算降噪后的高频线偏振度图； 步骤6，对步骤2中所得的降噪后的低频线偏振度图和步骤5中所得的高频线偏振度图进行加权融合； 所述基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置包括：共轴排列的偏振相机、成像镜头、偏振环形LED光源和待检测样品； 其中，偏振相机和成像镜头组成偏振成像系统，偏振环形LED光源发出带有固定倾角的线偏振光，并以反射式暗场照明方式倾斜入射至待检测样品表面；线偏振光入射至待检测样品的表面，待检测样品的少量镜面反射光与大部分散射光通过偏振环形LED光源中心的圆孔被成像镜头和偏振相机收集，形成用于缺陷深度反演的偏振图像；所述偏振相机支持单次曝光同步获取四个偏振方向的图像，用于计算低频线偏振度图；所述基于偏振光学暗场成像的表面缺陷检测装置用于基于所述低频线偏振度图及缺陷几何关系，反演缺陷深度。

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