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龙图腾网获悉江苏恒业半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆检测机构及晶圆装载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120741508B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511242630.4，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆检测机构及晶圆装载装置是由王志龙;闫威省;闫省设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测机构及晶圆装载装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆检测机构及晶圆装载装置，包括晶圆上料机构、第一检测机构和翻转检测机构，所述晶圆上料机构用于将晶圆输送至第一检测机构，所述第一检测机构对晶圆检测以后将晶圆输送至翻转检测机构，所述翻转检测机构对晶圆进行翻转检测；所述第一检测机构包括第一视觉检测相机和承托平台，所述第一视觉检测相机位于承托平台上方，所述承托平台上方设置有第一光源，所述承托平台的下方设置有第二光源，所述第一光源的亮度大于第二光源的亮度。本发明，使得晶圆表面损伤显现的更加清楚，从而识别更加清楚，解决了现有视觉相机只能单面补光，微小损伤很难拍摄到，从而导致检测效果较差的问题。

本发明授权一种晶圆检测机构及晶圆装载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载装置，其特征在于：使用了晶圆检测机构，包括装载机构4和承载框架5，所述装载机构4包括支撑框架41，所述支撑框架41的中部安装有插入组件43，所述支撑框架41位于插入组件43处安装有升降调节组件42，所述支撑框架41位于插入组件43的两侧均安装有水平移动组件45，所述支撑框架41位于水平移动组件45处安装有支撑板44； 所述升降调节组件42包括底座4201，所述底座4201安装有第一滑动架4202，所述第一滑动架4202滑动安装有升降承托架4212，所述升降承托架4212开设有用于避让插入组件43的避让孔，所述升降承托架4212顶部安装有对晶圆进行感应的第三光电传感器4208，所述升降承托架4212顶部的四个拐角均安装有支撑柱4207； 所述第一滑动架4202转动安装有丝杆4204，所述升降承托架4212安装有与丝杆4204配合的螺母，所述丝杆4204一端安装有从动锥齿轮，所述底座4201安装有第二驱动组件4209，所述第二驱动组件4209驱动有与丝杆4204的从动锥齿轮相互啮合的主动锥齿轮； 所述第一滑动架4202一侧安装有第一光电传感器4203和第二光电传感器4206，所述升降承托架4212安装有与第一光电传感器4203和第二光电传感器4206进行配合的第一感应板4205； 所述升降承托架4212远离第一感应板4205一侧安装有第四光电传感器4211，所述第一滑动架4202安装有与第四光电传感器4211第二感应板4210，所述第二感应板4210等间距开设有多个缺口； 所述插入组件43包括基座4301，所述基座4301顶部安装两个平行设置的侧板4307，两个所述侧板4307之间安装有转轴4303，所述转轴4303的两端均安装有第二同步带轮4305，所述转轴4303的中部安装有第一同步带轮4304，所述基座4301顶部安装有第三驱动组件4302；每个所述侧板4307的下部均安装有多个下导向轮4306，每个所述侧板4307的上部均安装有多个传动轴4311，所述传动轴4311的两端分别安装有传动轮4310和硅胶轮4312，每个所述侧板4307的中上部均安装有多个上导向轮4309，所述第二同步带轮4305、传动轮4310、上导向轮4309和下导向轮4306之间通过同步带4308连接。

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