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南通得安电子材料有限公司陈敬伦获国家专利权

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龙图腾网获悉南通得安电子材料有限公司申请的专利一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120742629B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511266407.3,技术领域涉及:G03F7/42;该发明授权一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液及制备方法是由陈敬伦设计研发完成,并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液及制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及光阻抗蚀剂技术领域,特别涉及一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液及制备方法。按照质量份数,所述针对厚光阻抗蚀剂的剥除液包括溶剂体系30~40份,活性成分20~30份,改性剂3~7份,稳定剂0.5~1份,所述稳定剂为羟乙基纤维素;所述活性成分包括环糊精‑辛酸亚锡复合物以及聚硅酸铁溶液,所述聚硅酸铁溶液与环糊精‑辛酸亚锡复合物的质量比为3~5:1。本申请通过提供一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液及制备方法,以解决相关技术中普通剥除液难以剥除厚光阻抗蚀剂的问题。

本发明授权一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种针对厚光阻抗蚀剂的剥除液,其特征在于,按照质量份数,其包括: 溶剂体系30~40份,活性成分20~30份,改性剂3~7份,稳定剂0.5~1份,所述稳定剂为羟乙基纤维素; 所述改性剂包括质量比为4:1~2:1:100的聚多巴胺、甘草酸、透明质酸和去离子水; 所述溶剂体系包括二甲基亚砜和聚乙二醇,所述聚乙二醇和二甲基亚砜的质量比为1:8~10; 所述活性成分包括环糊精-辛酸亚锡复合物以及聚硅酸铁溶液,所述聚硅酸铁溶液与环糊精-辛酸亚锡复合物的质量比为3~5:1; 所述环糊精-辛酸亚锡复合物的制备方法包括: 将β-环糊精按照质量比1:10的比例加入到去离子水中,加热至60℃,以200rmin的速度搅拌溶解后,加入辛酸亚锡,继续搅拌反应3h,将溶液冷却至室温,减压蒸馏后用0.45μm滤膜进行过滤,进行冷冻干燥后得到环糊精-辛酸亚锡复合物; 所述β-环糊精与辛酸亚锡的摩尔比为2:1。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南通得安电子材料有限公司,其通讯地址为:226000 江苏省南通市开发区振兴路19号8幢8101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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