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龙图腾网获悉苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种用于半导体制程的湿法循环管路脱泡装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120771590B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511293236.3，技术领域涉及：B01D19/02；该发明授权一种用于半导体制程的湿法循环管路脱泡装置及方法是由丁文标;仲康;宋博文;王哲哲;纪心宇设计研发完成，并于2025-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体制程的湿法循环管路脱泡装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种用于半导体制程的湿法循环管路脱泡装置及方法，该装置包括均与制程槽连接且用于回收循环供液的多个脱泡支路、循环回路和集成阀组。每一脱泡支路包括回收槽、一级脱泡机构、二级脱泡机构和光学传感器组。回收槽与制程槽连接，用于回收药液。一级脱泡机构与回收槽出口连接，用于对药液一次脱泡。二级脱泡机构与一级脱泡机构连接，用于对药液二次脱泡，二级脱泡机构末端设置有向制程槽供液的供液管。光学传感器组分别设置于回收槽、一级脱泡机构以及二级脱泡机构出口处，且用于检测药液中的气泡数量。集成阀组设置在多个脱泡支路的所有一级脱泡机构和所有二级脱泡机构之间，用于受控地连通一个一级脱泡机构和一个二级脱泡机构。

本发明授权一种用于半导体制程的湿法循环管路脱泡装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制程的湿法循环管路脱泡装置，其特征在于，包括均与制程槽连接且用于回收循环供液的多个脱泡支路、循环回路和集成阀组； 每一所述脱泡支路包括： 回收槽，与制程槽连接，用于回收药液； 一级脱泡机构，与所述回收槽出口连接，用于对药液进行一次脱泡； 二级脱泡机构，与所述一级脱泡机构连接，用于对药液进行二次脱泡，所述二级脱泡机构末端设置有用于向制程槽供液的供液管； 光学传感器组，分别设置于所述回收槽、所述一级脱泡机构以及所述二级脱泡机构出口处，且用于检测药液中的气泡数量； 所述循环回路包括设置在所述一级脱泡机构出口与多个所述回收槽进口之间的第一小循环回路和设置在所述二级脱泡机构出口与多个所述回收槽进口之间的第二小循环回路； 所述集成阀组设置在多个所述脱泡支路的所有所述一级脱泡机构和所有所述二级脱泡机构之间，用于受控地连通一个所述一级脱泡机构和一个所述二级脱泡机构； 所述脱泡装置设置成将所述一级脱泡机构和所述二级脱泡机构脱出的气泡排入气泡数量多的所述回收槽内； 所述脱泡装置用于在一次脱泡后的药液中气泡数量未降至第一预设值时，仅将药液循环至气泡数量多的所述回收槽内； 在二次脱泡后的药液中气泡数量未降至第二预设值时，仅将药液循环至气泡数量少的所述回收槽内； 在一次脱泡后的药液中气泡数量降至第一预设值且二次脱泡后的所述脱泡支路中的气泡数量降至第二预设值时，将药液供给至制程槽内。

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