江苏容道社半导体设备科技有限公司张宽宽获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容道社半导体设备科技有限公司申请的专利一种具有过滤功能的匀胶显影机用光刻胶供液结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223517039U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422812572.1，技术领域涉及：B01D29/56；该实用新型一种具有过滤功能的匀胶显影机用光刻胶供液结构是由张宽宽;符学进;胡二涛;赵生龙;胡根生;张广东设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有过滤功能的匀胶显影机用光刻胶供液结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有过滤功能的匀胶显影机用光刻胶供液结构，包括供液机柜和供液管件，其特征在于：所述供液管件设置于供液机柜一侧，所述供液管件包括出液管、伸缩管、过滤组件和转接管，所述过滤组件由过滤套筒、拦截网罩和过滤芯体组成，所述拦截网罩和过滤芯体均设置于过滤套筒内部，所述伸缩管的输入端与出液管的输出端固定连接，所述伸缩管的输出端转动连接有一号旋转接口。本实用新型通过在供液管件中设置过滤组件，包括过滤套筒、拦截网罩和过滤芯体，在光刻胶输送的过程中实现了胶液的过滤，有效拦截了胶液中的颗粒及结块，确保了光刻胶的纯净度和质量，从而提高了光刻工艺的稳定性和精度。
本实用新型一种具有过滤功能的匀胶显影机用光刻胶供液结构在权利要求书中公布了：1.一种具有过滤功能的匀胶显影机用光刻胶供液结构，包括供液机柜1和供液管件，其特征在于：所述供液管件设置于供液机柜1一侧，所述供液管件包括出液管2、伸缩管3、过滤组件和转接管4，所述过滤组件由过滤套筒5、拦截网罩6和过滤芯体7组成，所述拦截网罩6和过滤芯体7均设置于过滤套筒5内部，所述伸缩管3的输入端与出液管2的输出端固定连接，所述伸缩管3的输出端转动连接有一号旋转接口，所述转接管4的输入端转动连接有二号旋转接口，所述过滤套筒5的输入端与一号旋转接口螺纹连接，所述过滤套筒5的输出端与二号旋转接口螺纹连接，所述出液管2中部安装有一号控制阀8，所述转接管4中部安装有二号控制阀9。
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