杭州积海半导体有限公司王大为获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利一种废气处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223517204U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422668595.X,技术领域涉及:B01D47/06;该实用新型一种废气处理装置是由王大为设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种废气处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种废气处理装置,包括:抽气模块,其包括进气口与至少一个排气口,所述抽气模块的进气口与半导体机台的工艺腔的排气口可拆卸连接;燃烧模块,可拆卸连接于所述抽气模块上,所述燃烧模块的进气口与所述抽气模块的排气口可拆卸连接;以及水洗模块,可拆卸连接于所述抽气模块或所述燃烧模块上,所述水洗模块的进气口与所述抽气模块的排气口或所述燃烧模块的排气口可拆卸连接。通过本实用新型提供的一种废气处理装置,能够降低成本。
本实用新型一种废气处理装置在权利要求书中公布了:1.一种废气处理装置,其特征在于,包括: 抽气模块,其包括进气口与至少一个排气口,所述抽气模块的进气口与半导体机台的工艺腔的排气口可拆卸连接; 燃烧模块,可拆卸连接于所述抽气模块上,所述燃烧模块的进气口与所述抽气模块的排气口可拆卸连接;以及 水洗模块,可拆卸连接于所述抽气模块或所述燃烧模块上,所述水洗模块的进气口与所述抽气模块的排气口或所述燃烧模块的排气口可拆卸连接。
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