重庆芯联微电子有限公司王进钦获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利光刻胶输送装置和半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223517878U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422633556.6，技术领域涉及：B05C11/10；该实用新型光刻胶输送装置和半导体加工设备是由王进钦;田龙;方震宇设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶输送装置和半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种光刻胶输送装置和半导体加工设备，该光刻胶输送装置包括光刻胶供给瓶、输胶管道和固定座，固定座具有用于容纳光刻胶供给瓶的空腔，光刻胶供给瓶固定于固定座的空腔内；输胶管道用于将光刻胶供给瓶中的光刻胶输送至光刻胶涂布装置，输胶管道具有吸胶口和出胶口，吸胶口位于光刻胶供给瓶的内部，出胶口位于光刻胶供给瓶的外部；输胶管道上设有标志件，标志件靠近输胶管道的吸胶口设置；固定座的底部设有用于探测标志件的位置的探测器，探测器靠近光刻胶供给瓶的最底部所在位置。本实用新型可以有效判断出输胶管道的吸胶口是否放置于光刻胶供给瓶内的最底部，从而可以有效减少光刻胶残留，避免光刻胶的浪费。
本实用新型光刻胶输送装置和半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶输送装置，其特征在于，包括光刻胶供给瓶、输胶管道和固定座，所述固定座具有用于容纳所述光刻胶供给瓶的空腔，所述光刻胶供给瓶用于存储光刻胶，所述光刻胶供给瓶固定于所述固定座的所述空腔内； 所述输胶管道用于将所述光刻胶供给瓶中的光刻胶输送至光刻胶涂布装置，所述输胶管道具有吸胶口和出胶口，所述吸胶口位于所述光刻胶供给瓶的内部，所述出胶口位于所述光刻胶供给瓶的外部； 所述输胶管道上设有标志件，所述标志件靠近所述输胶管道的所述吸胶口设置； 所述固定座的底部设有用于探测所述标志件的位置的探测器，所述探测器靠近所述光刻胶供给瓶的最底部所在位置。
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