重庆芯联微电子有限公司武凯文获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利清洗组件以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223518089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422617152.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型清洗组件以及半导体制造设备是由武凯文;王进钦;方震宇设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗组件以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种清洗组件以及半导体制造设备，清洗组件包括：扫描臂；扫描臂上依次设置有第一喷嘴、第二喷嘴以及抽吸装置；第一喷嘴用于喷射清洗液；第二喷嘴用于喷射吹扫气体；抽吸装置用于抽吸经吹扫气体吹起，未被清洗液冲刷的残留物；其中，抽吸装置的底面和或侧壁上设置有多个朝向不同方向的抽吸孔。如此配置，通过在靠近扫描臂的中心位置增设抽吸装置，吸走那些被吹扫气体吹起，而未被清洗液冲走的残留物，降低了晶圆表面的反应物残留，进而提升了产品良率；同时，在抽吸装置的底面和或侧壁上设置多个朝向不同方向的抽吸孔，增大了抽吸装置的抽吸面积，进一步提升了反应物残留的去除效率。
本实用新型清洗组件以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗组件，其特征在于，包括：沿晶圆的径向可移动的扫描臂； 所述扫描臂上依次设置有第一喷嘴、第二喷嘴以及抽吸装置，所述抽吸装置相较于所述第一喷嘴和所述第二喷嘴更靠近所述扫描臂的中心设置； 所述第一喷嘴用于喷射清洗液，以冲刷所述晶圆的表面残留物；所述第二喷嘴用于喷射吹扫气体，以吹扫所述晶圆的表面残留物；所述抽吸装置用于抽吸经所述吹扫气体吹起，未被所述清洗液冲刷的所述残留物； 其中，所述抽吸装置的底面和或侧壁上设置有多个朝向不同方向的抽吸孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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