重庆芯联微电子有限公司江浩晔获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利供液模块、刷洗组件以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223518090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422633845.6，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型供液模块、刷洗组件以及半导体制造设备是由江浩晔设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本供液模块、刷洗组件以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种供液模块、刷洗组件以及半导体制造设备，供液模块包括：混合腔以及至少两条供液管路；供液管路中分别流通有不同的清洗液；至少两条供液管路的出液口分别与混合腔连通，供液管路中流通的清洗液于混合腔中混合；混合腔与第一喷嘴连接，第一喷嘴用于向晶圆的晶面区域喷洒混合液剂；至少一条供液管路上还设有供液支路，供液支路与第二喷嘴连接，第二喷嘴用于向晶圆的晶背区域喷洒对应的清洗液；其中，设置有供液支路的供液管路中的清洗液流量大于其余供液管路中的清洗液流量。如此配置，通过增设供液支路，并与第二喷嘴连接，以使得向晶圆的晶背区域喷洒的清洗液由变为单一清洗液，能够节省相应清洗液的用量，降低了生产成本。
本实用新型供液模块、刷洗组件以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种供液模块，其特征在于，包括：混合腔以及至少两条供液管路； 所述供液管路中分别流通有不同的清洗液； 至少两条所述供液管路的出液口分别与所述混合腔连通，以使所述供液管路中流通的清洗液于所述混合腔中混合，形成混合液剂；所述混合腔与第一喷嘴连接，所述第一喷嘴用于向晶圆的晶面区域喷洒所述混合液剂； 至少一条所述供液管路上还设有供液支路，所述供液支路与第二喷嘴连接，所述第二喷嘴用于向所述晶圆的晶背区域喷洒对应的所述清洗液； 其中，设置有所述供液支路的供液管路中的清洗液流量大于其余所述供液管路中的清洗液流量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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