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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223519410U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422121839.2，技术领域涉及：B24B37/20；该实用新型一种晶圆研磨装置是由卢琛设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆研磨装置，涉及半导体制造技术领域，包括设置于研磨腔室内的研磨组件和位置传感器，研磨组件用于对位于研磨腔室内的晶圆进行研磨，而位置传感器用于实时获取晶圆在研磨过程中的位置信息，以确保研磨的精度。为了防止水汽影响位置传感器的正常检测功能，在位置传感器与晶圆之间设置有第一气体通道。第一气体通道具有位于研磨腔室内的第一出气口，第一气体通道通过第一出气口输出隔离气体，以在位置传感器与晶圆之间形成一层气体隔离层，从而有效阻止水汽接触位置传感器，解决现有技术中水汽对位置传感器检测功能的影响，提高位置传感器的稳定性和检测精度，避免误报警或检测结果无效的情况。

本实用新型一种晶圆研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨装置，其特征在于，包括设置于研磨腔室内的研磨组件和位置传感器1，所述研磨组件用于对位于所述研磨腔室内的晶圆2进行研磨，所述位置传感器1用于获取所述晶圆2在研磨过程的位置信息，在所述位置传感器1与所述晶圆2之间设置有第一气体通道3，所述第一气体通道3具有位于所述研磨腔室内的第一出气口，所述第一气体通道3经所述第一出气口输出隔离气体以形成位于所述位置传感器1与所述晶圆2之间的气体隔离层； 所述晶圆研磨装置包括沿水平方向排布的多个所述第一气体通道3，多个所述第一气体通道3的所述第一出气口两两相对，多个所述第一气体通道3内的所述隔离气体经对应的所述第一出气口排出共同形成所述气体隔离层； 所述晶圆研磨装置还包括设置于所述研磨腔室内的第二气体通道4，所述第二气体通道4具有位于所述研磨腔室内的第二进气口以及位于所述研磨腔室外的第二出气口，所述气体隔离层中的所述隔离气体经所述第二进气口进入所述第二气体通道4，并经所述第二出气口排出所述研磨腔室外。

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