中山市易天自动化设备有限公司高军鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中山市易天自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆UV膜切膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223519808U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422780312.0,技术领域涉及:B26D9/00;该实用新型一种晶圆UV膜切膜装置是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆UV膜切膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种晶圆UV膜切膜装置,包括架体、直线模组、第一切膜组件、旋转模组和第二切膜组件,直线模组和旋转模组与架体固定连接,第一切膜组件与直线模组滑动连接,第一切膜组件包括第一切膜刀,第一切膜刀在UV膜上方水平运动和升降运动,并用于将UV膜切割成多个片状UV膜;第二切膜组件与旋转模组连接,第二切膜组件包括第二切膜刀,第二切膜刀在片状UV膜上方升降运动和旋转运动,并用于将片状UV膜切割至与晶圆大小和形状一致。本实用新型提出全自动化对UV膜切割,有效避免了UV膜受污染,提高了切割效率;本实用新型提出采用至少两个切膜刀分别对UV膜进行切割,将UV膜先切割为片状再切割至与晶圆大小和形状相同,有效避免了UV膜的浪费。
本实用新型一种晶圆UV膜切膜装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆UV膜切膜装置,其特征在于,包括架体、直线模组、第一切膜组件、旋转模组和第二切膜组件,所述直线模组和所述旋转模组分别与所述架体固定连接,所述第一切膜组件与所述直线模组滑动连接,所述第一切膜组件包括第一切膜刀,所述第一切膜刀在所述UV膜上方水平运动和升降运动,并用于将所述UV膜切割成多个片状UV膜;所述第二切膜组件与所述旋转模组连接,所述第二切膜组件包括第二切膜刀,所述第二切膜刀在所述片状UV膜上方升降运动和旋转运动,并用于将所述片状UV膜切割至与晶圆大小和形状一致。
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