上海映芯谐振机电科技有限公司刘磊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海映芯谐振机电科技有限公司申请的专利一种具有电绝缘结构的MEMS微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223522295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422837231.X，技术领域涉及：B81B7/00；该实用新型一种具有电绝缘结构的MEMS微镜是由刘磊设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有电绝缘结构的MEMS微镜在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具有电绝缘结构的MEMS微镜，包括：MEMS微镜基板、活动电极板以及绝缘板组件，MEMS微镜基板上表面中心开设有基板槽，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加MEMS微镜基板及绝缘板组件，固定电极板产生吸引力控制活动电极板移动，进而带动其上方为镜面进行移动调节，活动电极板与镜面之间敷设有电绝缘材料，并且镜面被镜面座包裹提高其电绝缘效果，活动电极板与固定电极板之间通过两组绝缘板组件隔断，辅助电极的同性力产生排斥使其处于开合结构，并在去除电极力时在辅助弹簧作用下贴合，降低活动电极板的电性影响，能够提高电绝缘效果，通过增加MEMS微镜基板及限位板，能够对活动电极板进行拆卸。
本实用新型一种具有电绝缘结构的MEMS微镜在权利要求书中公布了：1.一种具有电绝缘结构的MEMS微镜，包括：MEMS微镜基板100、活动电极板108以及绝缘板组件200，其特征在于：所述MEMS微镜基板100上表面中心开设有基板槽101； 所述基板槽101内侧下端固定连接有用于带动活动电极板108移动调节的固定电极板102，所述基板槽101左右两端内侧面均开设有用于隐藏绝缘板组件200的隐藏槽106，所述隐藏槽106内侧远离基板槽101中心一端设有用于复位绝缘板组件200的辅助弹簧107； 两侧所述隐藏槽106内侧均设有一组用于增加绝缘性能的绝缘板组件200，所述基板槽101内侧上端设有活动电极板108，所述活动电极板108四角处上方均设有一组用于限位使用的限位板300，所述MEMS微镜基板100为二氧化硅材料制成。
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