光驰科技(上海)有限公司卢鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种分体式装载机构及真空处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223522653U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423010332.6,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种分体式装载机构及真空处理设备是由卢鹏;马淑莹;李展鹏设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分体式装载机构及真空处理设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空处理技术领域,公开了一种分体式装载机构及真空处理设备。该分体式装载机构包括工件治具、对接组件和固定组件,工件治具用于装载工件;对接组件包括第一对接件和第二对接件,第一对接件和第二对接件分别与工件治具沿第一方向的两端可拆卸连接;固定组件为两组,分别可拆卸设于第一对接件和工件治具之间与第二对接件与工件治具之间。通过将原有的一体式料串机构分割为工件治具、第一对接件和第二对接件,在对不同工件真空处理时,只需要更换适配的工件治具,提高了工件真空处理的效率,减少了制造成本。
本实用新型一种分体式装载机构及真空处理设备在权利要求书中公布了:1.一种分体式装载机构,其特征在于,包括: 工件治具10,所述工件治具10用于装载工件; 对接组件20,所述对接组件20包括第一对接件21和第二对接件22,所述第一对接件21和所述第二对接件22分别与所述工件治具10沿第一方向的两端可拆卸连接; 固定组件30,所述固定组件30为两组,分别可拆卸设于所述第一对接件21和所述工件治具10之间与所述第二对接件22与所述工件治具10之间。
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