光驰科技(上海)有限公司罗欣获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种真空处理机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223522656U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423071791.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种真空处理机构是由罗欣;龙汝磊;包川龙设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空处理机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空处理技术领域，公开了一种真空处理机构。真空处理机构设于真空处理腔室内，真空处理机构包括支架和工件装载组件，工件装载组件设于支架，包括工件装载主体，工件装载主体包括工件装载盘，工件装载盘用于承载工件；工件装载盘沿支架的旋转轴线的方向和沿旋转轴线在支架上的投影点为圆心的圆的径向均设置有多个，工件装载盘能相对支架改变位置。设置多个工件装载盘，增加了支架装载工件装载盘的数量，从而增加了单次装载工件的数量；工件装载盘能相对支架改变位置，能够使部分真空处理无效区域产生重叠，从而增加了真空处理腔室内的真空处理有效区域，单次可以真空处理更多的工件，提高了真空处理机构的产能。
本实用新型一种真空处理机构在权利要求书中公布了：1.一种真空处理机构，所述真空处理机构设于真空处理腔室内，其特征在于，包括： 支架100； 工件装载组件200，所述工件装载组件200设于所述支架100，包括工件装载主体210，所述工件装载主体210包括工件装载盘211，所述工件装载盘211用于承载工件1； 所述工件装载盘211沿所述支架100的旋转轴线的方向和沿所述旋转轴线在所述支架100上的投影点为圆心的圆的径向均设置有多个，所述工件装载盘211能相对所述支架100改变位置。
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